판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #9409203
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ID: 9409203
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1998
Spin scrubber, 6"
Transfer robot
Loading position type: Left side
3-Colors signal tower
Non-SMIF
No GEM Controller
(2) Reverse units
Indexer unit:
(4) Cassette
Wafer defect sensor
Transfer robot (A type) X, Y and Z Axis
TR unit:
Dual arm transfer robot (Vacuum less) X1, X2, Y, Z and R Axis
Wafer defect sensor
Front-side spin unit 3:
Mechanical chuck type
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front side unit 4:
Vacuum chuck
Bursh nozzle
Jet nozzle
DIW 1, DIW 2, Back rinse, D-Sonic rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Spin motor missing
Side cabinet:
Jet pump
Megon cabinet
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 실리콘 웨이퍼 세척 및 마스크 절단에 사용되는 고정밀 스크러버입니다. DNS SSW60A-AR 모델은 SSW-60A 모델의 업그레이드로, 향상된 성능과 향상된 운영 효율성을 제공합니다. 이 기계에는 웨이퍼와 마스크를 효과적으로 청소하기 위해 제트 각도 (jet angle) 와 강도 (intensity) 를 조정할 수있는 이중 노즐 제트 헤드가있는 고급 워터 제트 (water jet) 청소 장비가 있습니다. 고속 웨이퍼 브러쉬 (wafer brush) 는 웨이퍼와 마스크에서 입자와 오염 물질을 제거하며, 스크러버는 다양한 크기, 모양, 재료를 사용할 수 있습니다. 스크러버는 15 인치 TCNT (Transparent and non-contact) 신틸레이터를 특징으로하여 박막 및 입자를 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있습니다. 내장형 고해상도 미닐랩 (minilab) 시스템은 웨이퍼와 마스크 (mask) 에 대한 상세한 테스트 이미지를 찍어 청결함을 분석, 평가할 수 있게 해 준다. 또한 DAINIPPON SS-W60A-AR에는 고급 "CX" 모니터링 장치가 있어 사용자가 청결 수준을 조정하고, 웨이퍼와 마스크를 다시 청소하고, 클리닝 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 스크러버 운영 체제 (scrubber's operating machine) 를 프로그래밍하여 클리닝 매개변수 설정, 클리닝 프로세스 성공 여부 확인, 청소된 웨이퍼 및 마스크 제거 및 저장 자동화 등 다양한 기능을 자동으로 실행할 수 있습니다. 안전성을 강화하기 위해, 기계는 이상이 감지되면 스크러버를 자동으로 멈추는 안전 탐지 도구 (safety detection tool) 를 가지고 있으며, 먼지 오염을 극적으로 줄이는 에어샤워 에셋 (air-shower asset) 도 갖추고 있습니다. SSW-60A-AR 역시 효율성이 높고, 주기가 짧으며, 전력 소비량이 적습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SSW 60A-AR 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 실리콘 웨이퍼와 마스크를 깨끗하게 유지하기 위해 고급적이고 비용 효율적인 다용도 기계를 찾는 사람을위한 필수품입니다. 뛰어난 성능, 사용자 친화적 인 인터페이스, 다양한 기능을 갖춘 DAINIPPON SSW60A-AR 스크러버는 작업을 완료해야합니다.
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