판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #293689357
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ID: 293689357
웨이퍼 크기: 6"
Spin scrubber, 6"
Non-SMIF Type
Loading position type: Left side
No GEM Controller
3-Colors signal tower
(2) Reverse units
Indexer unit:
Type: (4) Cassette
Wafer defect sensor and vaccumless A type
Transfer robot
TR Unit:
Dual arm transfer robot
Wafer defect sensor
Back-side spin unit:
Mechanical chuck
Brush nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front-side unit:
Vacuum chuck
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Side cabinet:
Jet pump
Meghcon cabinet
R/D Rack
Missing parts:
Servo AMO
5-Axis drive
T/R Board
2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR은 반도체 산업의 청소 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "스크러버 '는 여러 가지 청소" 노즐' 과 "브러쉬 '를 이용 하여" 웨이퍼' 와 "마스크 '표면 을 효율적 으로 청소 하고 유지 한다. 스크러버에는 135도 조절 가능한 헤드가 장착되어 있습니다. 조정 가능한 헤드는 웨이퍼 표면의 정밀 청소 및 각도 제어를 가능하게하며, 이는 화학 스크러빙 제를 적용하는 데 필수적입니다. 또한, "스크러버 '에는" 스크러빙' 과 건조 과정 을 자동화 하는 완전 한 자동 청소 장치 가 갖추어져 있다. 스크러버는 강력하고 안정적인 청소 성능을 제공하는 고효율 브러시리스 (brushless) DC 모터로 구동됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 모든 금속 구조로 생산 응용 분야에서 뛰어난 내구성과 신뢰성을 보장합니다. 또한, "스크러버 '에는 다양한" 웨이퍼' 및 "마스크 '청소" 애플리케이션' 을 위한 매우 다양 한 청소 "노즐 '형 이 들어 있다. 스크러버는 CPU (화학 처리), ED (탄성 변형) 및 PR-L (프라이머 감소) 방법을 포함한 초미세 청소 모드에서 스크러빙 할 수 있습니다. 또한, 스크러버는 분당 0.1 ~ 10,000 회전 범위의 광범위한 클리닝 속도를 갖습니다. 이러한 속도는 스크러빙 프로세스를 정교하고 일관되게 제어합니다. 스크러버 (scrubber) 는 청소 중에 생성 된 입자를 제거하는 반 막힘 방지 (anti-clogging) 기능으로 설계되므로 입자 환경을 크게 줄입니다. 이것 은 청소 실 에 정교 한 입자 수집 장비 를 소모 할 필요 가 없게 한다. 마지막으로 DNS SSW60A-AR은 200mm 및 300mm를 포함한 다양한 유형의 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 이를 통해 스크러버를 다양한 생산 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 결론적으로 DAINIPPON SS-W60A-AR은 매우 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 및 마스크 표면을 정확하게 청소하고, 고효율 브러시리스 (brushless) DC 모터를 가지며, 다양한 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 입자가 없는 청소 환경을 만들도록 설계되어 청소 실 생산 응용 분야에 이상적입니다.
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