판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #9256949

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR은 반도체 장치 제조 및 연구 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고성능, 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. DNS SS-W80A-AVR은 웨이퍼, 마스크, 포토레지스트와 같은 다양한 유형의 재료를 청소하기 위해 선택 가능한 청소 매개변수를 갖춘 자동 청소 장비를 갖추고 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 2 개의 가변 속도 스핀들 모터와 결합 된 강력한 모터를 사용하여 일관된 클리닝 속도와 스크러빙 프로세스를 완벽하게 제어합니다. DAINIPPON SSW-80A-AVR은 안전하고 최소 입자 오염을 위해 먼지 필터 및 공기 필터를 제공합니다. 통합 PLC (Programmable Logic Controller) 는 사용자 사양 및 요구 사항에 따라 시스템 입/출력을 완벽하게 제어합니다. 이 장치를 사용하면 wafer 및 mask를 올바르게 처리하고 청소하기 위해 pressure, speed, time, cleaning agent 및 other parameters와 같은 매개 변수를 미리 설정할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 잔류 물 축적을 피하고 모든 가공 된 웨이퍼 및 마스크에서 균일성을 유지하기 위해 자동 역회전 모드를 특징으로합니다. DAINIPPON SS-W80A-AVR은 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 외에도 건조와 공기 냉각 (air cool-down) 과 같은 고급 기능으로 더 빠른 처리를 지원합니다. 이 스크러버 에는 자동화 된 "마스크 '세척 및 청소소 와 자동화 된" 웨이퍼' 스크러빙 '용 "웨이퍼' 수송 장치 가 있다. 선택적 적외선 검출기 (infrared detector) 와 진공 컨베이어 (vacuum conveyor) 를 사용하여 청소 과정에서 입자를 개선 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 선적 전에 수동 검사를위한 큰 검사 창을 갖추고 있습니다. DNS SSW-80A-AVR에는 이온화, Argon 가스 담요, 원격 유지 보수 등의 추가 기능을 위해 데이지 체인 연결 케이블 및 Air-blow 노즐이 제공됩니다. 스크러버는 문제 해결 및 사후 평가에 대한 FOD 기술 지원도 지원합니다. 마지막으로, 스크러버 (scrubber) 는 손쉽게 설치될 수 있으며, 데이터 로깅 및 간편한 유지 관리 기능을 위한 향상된 액세스 기능을 갖춘 사용자 ID 를 지원합니다. 전반적으로, SSW-80A-AVR은 반도체 장치 제조 및 연구를 위해 특별히 설계된 고급적이고 효율적인 웨이퍼 & 마스크 스크러버입니다. 이 제품은 정확하고 안정적인 클리닝을 위해 2 개의 가변 속도 스핀들, 최소 입자 오염을위한 내장 먼지 필터 및 공기 필터, 그리고 편의성 및 성능 향상을 위해 다양한 추가 기능을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 설치와 유지 관리가 용이하며, 다양한 어플리케이션에 적합합니다.