판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #9235502

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR
ID: 9235502
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Scrubber, 8" 1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR은 반도체 생산을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 처리 전에 웨이퍼 및 포토 마스크에서 표면 오염 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 압축 공기와 초음파 방출, 스프레이 (spray) 와 브러쉬 (brushe) 의 조합을 사용하여 표면을 청소하도록 설계되었습니다. 이 장치의 전체 너비는 48.78 인치, 깊이는 59.2 인치, 높이는 44.48 인치입니다. 그것은 4.7 평방 피트의 크고 투명한 안전 덮개와 발자국을 갖추고 있습니다. 이 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 두 가지 주요 청소 구성 요소 (습식 청소소, 드라이 클리닝 스테이션) 가 있습니다. 젖은 청소 스테이션에는 고압 청소 액체 스트림을 방출하는 3 개의 노즐 (nozzle) 과 마스크와 웨이퍼 표면을 청소하는 소노 브러시 (sono-brush) 가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 공기와 액체 조합을 사용하여 표면 오염 물질을 분해하고 제거합니다. 젖은 "스테이션 '에는 또한 청소 액체 의 효율적 인 재활용 을 위한 여과 된 재순환" 펌프' 가 들어 있다. 드라이 클리닝 스테이션 (Dry Cleaning Station) 은 역압, 강제 공기 시스템으로, 공기 흐름을 사용하여 남은 표면 오염 물질을 날려 버리고, 표면 수퍼 피니싱을위한 회전 브러시입니다. 브러쉬 선 은 가로 방향 과 세로 방향 으로 조정 할 수 있으며, 따라서 보다 정확 한 청소 결과 를 얻을 수 있습니다. DNS SS-W80A-AVR에는 긴급 정지 버튼, 힌지 (hinged) 안전 도어, 일체형 입자 포수 가드 등 인원과 장비를 보호하는 몇 가지 안전 기능도 있습니다. 또한, 스크러버에는 촉각 막 스위치가 장착 된 컨트롤 패널과 프로세스 모니터링 및 실시간 보고서 생성을 제공하는 4 자리, 7 세그먼트 LED 디스플레이가 장착되어 있습니다. 전반적으로, DAINIPPON SSW-80A-AVR은 처리 전에 안전하고 효율적으로 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계된 안정적이고 혁신적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 습식" 클리닝' 과 건조 "클리닝 ', 그리고 안전 의 특징 과 제어판 의 조합 으로 반도체 생산 에 이상적 인 선택 이다.
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