판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #9095607

DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR
ID: 9095607
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Scrubber, 8", 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR Wafer & Mask Scrubber는 반도체 제조에 사용되는 상업용 웨이퍼 및 마스크를 청소하기위한 고급 장비입니다. 그것 은 진동 장비 를 이용 하여 "웨이퍼 '와" 스프레이 노즐' 을 청소 하여 "마스크 '에서 오염 물질 을 제거 한다. AVR 모델은 잘 구성된 장치로, 스크러빙 및 클리닝에 효과적이고 효율적입니다. 이 장치는 웨이퍼를 청소하기위한 수평 진동 시스템 (horizontal oscillation system) 을 갖추고 있으며, 진동 주파수와 진폭의 유연성을 제공합니다. 또한 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 구역 에 둘 때 정확 하게 탐지 하는 내장 광학 "센서 '를 가지고 있어서 청소 과정 이 안전 하게 수행 되어야 한다. 스크러빙 성능은 이중 레벨 스크러빙 (scrubbing) 에 의해 더욱 향상되며, 다른 노즐을 사용하여 표면 입자를 직접 표적화합니다. AVR 모델을 사용하면 쉽고 빠른 로드 및 언로드도 가능합니다. 용지함 적재 장치 (Tray-loading unit) 는 용지함 (Wafer) 과 마스크 (Mask) 가 청소용으로 스크러브 챔버에 자동으로 급지되도록 설계된 후 자동으로 언로드됩니다. 사용하기 쉬운 터치 패널 디스플레이로 머신을 쉽게 작동시킬 수 있습니다. "컴퓨터 '에" 컴퓨터' 를 연결 할 수 있으므로 장치 의 통신 과 원격 제어 가 가능 하다. DNS SS-W80A-AVR 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 고급 드라이 클리닝 기능이 장착되어 있습니다. "오존 ', 활성 산소 및 건조 한 공기 는 철저 하고 완전 한 청소 를 하는 데 이용 된다. 이 기능 에 의해 생성 된 공기 배출 (air exhaust) 은 장치 뒷면 에서 방출 되어 보다 깨끗 한 작업 환경 을 제공 한다. AVR 모델의 스크러빙 프로세스는 오픈 루프 벡터 제어 드라이브로 구동됩니다. 이 고급 드라이브 도구를 사용하면 장치 성능을 정확하고 원활하게 작동할 수 있습니다. 또한, 배기 에셋은 유지 관리 빈도를 제한하는 자동화된 블로우백 배기 (blowback) 모델을 갖추고 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON SSW-80A-AVR Wafer & Mask Scrubber는 반도체 제조에 사용되는 상업용 웨이퍼와 마스크를 스크러빙하고 청소하기 위해 특별히 설계된 강력하고 효율적인 장치입니다. 고급 (advanced) 기능과 결합된 견고한 구조로, 청소 프로세스가 일관되고 원활하게 실행됩니다.
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