판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #293591705

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 자동화된 웨이퍼 및 마스크 청소 장비로, 가장 어렵고 복잡한 표면 오염 문제를 해결하기 위해 사용할 수 있습니다. 그것 은 압력 과 화학 공정 의 독자적 인 조합 을 사용 하여, 반도체 제조 에 사용 되는 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 에서 최고 수준 의 청결 을 달성 한다. 이 시스템은 플랫폼에 장착 된 통합 스크러빙 모듈로 구성되며 압력 선박, 지지 베이스, 화학 저수지, 스크러빙 브러시 (scrubbing brush) 및 화학 분사 장치 (chemical injection unit) 를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 압력용기는 직경 450 mm 의 웨이퍼를 처리하고 폭 300 mm 의 마스크를 처리하도록 설계되었습니다. 그것 은 저온 화학 용액 과 함께 사용 되어 기질 의 표면 에서 입자, 토양, 유기 "잔류" (organic residue) 를 제거 하도록 설계 되었다. 지원기지는 압력선 (pressure vessel) 을 보유하며 각기 다른 청소주기 (cleaning cycle) 요구 사항에 따라 압력선 (pressure vessel) 을 들어올리거나 낮출 수있는 조절 가능한 플랫폼을 제공합니다. 또한 스크러빙 모듈, 화학 저수지, 사출기 장착 플랫폼으로도 사용됩니다. 스크러빙 장치 (scrubbing unit) 는 스크러빙 과정에서 기판을 고정하는 데 사용되는 일련의 웨이퍼 및 마스크 홀더 비품이있는 원통형 주택입니다. 스크러빙 브러쉬 (scrubbing brush) 는 기판 표면을 효과적으로 청소하기 위해 장치 상단에 장착됩니다. 화학 저수지 는 그 과정 에 대한 "클리닝 '용액 을 공급 해 준다. 이 도구는 최적의 청소 결과를 위해 정확한 화학 혼합비 (chemical mixture ratios) 와 유량 (flow rate) 을 허용하는 온도 조절 도구입니다. 주입 자산은 가열되고 사전 혼합 된 청소 용액을 압력 용기에 주입하도록 설계되었습니다. 이 로 말미암아 기판 은 "클리닝 '용액 으로 균등 하고 철저 하게 코팅 되어 있으며, 이것 은 일관성 있는 청소 결과 를 보장 하는 데 도움 이 된다. 이 모델에는 클리닝 장치 외에도 일련의 모니터링 및 제어 장치 (예: 모니터 컨트롤러) 가 포함되어 있습니다. 이 구성 요소는 장비 (장비) 가 프로세스 전반에 걸쳐 최적의 성능과 깨끗함을 유지하도록 설계되었습니다. DNS SS-W80A-AVR 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 기판 표면에서 최고 수준의 클리닝 결과를 제공합니다. 통합 설계, 자동 클리닝 (automated cleaning) 및 정밀 압력 선박 (precision pressure vessel) 을 통해 가장 까다로운 웨이퍼 및 마스크 클리닝 및 오염 물질 제거 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.