판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9280571
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR은 석판 후 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 안정성과 생산성을 제공하며, 제조 프로세스의 비용을 절감합니다. DNS SSW80A-AR 은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면을 모두 스크러빙하여 더 높은 품질의 리소그래피 및 부드러운 표면을 만들 수 있습니다. "웨이퍼 스크러버 '는 입자, 먼지 및 기타 오염 물질 을" 웨이퍼' 에서 제거 하여 리소그래피 의 정확성 과 균일성 을 향상 시킬 수 있다. 또한 기존의 젖은 스크러빙 방법에 비해 향상된 에칭 성능을 제공합니다. DAINIPPON SSW-80A-AR에는 1 단계 반도체 등급 스크러버 컨택트 헤드가 있습니다. 접촉 헤드는 압력 조절이 가능하여 균일하고 일관된 스크러빙이 가능합니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 고장력 필름을 사용하여 웨이퍼와 스크러버 헤드 사이의 단단한 접촉을 보장합니다. 스크러버는 기계적 및 화학적 스크러빙 방법을 모두 사용하여 혁신적인 2 단계 웨이퍼 스크러빙 프로세스를 특징으로합니다. 기계식 스크러빙 단계는 분당 18,000 회전을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 문지르고, 얇고 단단한 모서리에서 먼지와 오염 물질을 제거합니다. 화학 스크러빙 단계는 화학 에칭 제를 적용하기 위해 고압 샤워를 사용합니다. SS W80A AR 스크러버 (scrubber) 는 또한 내부 부품의 과열을 방지하기 위해 효과적인 냉각수 순환 시스템으로 설계되었습니다. 또한, 자동 청소 기능과 안전 개방 커버가 제공됩니다. 전반적으로 DNS SS-W80A-AR은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 웨이퍼 및 마스크 표면에서 오염 물질, 먼지 및 이물질을 제거하도록 설계된 DNS SSW-80A-AR은 탁월한 정확성과 균일성을 제공합니다. 2 단계 스크러빙 프로세스, 압력 조절 가능한 접촉 헤드, 혁신적인 냉각수 순환 시스템으로, 이 스크러버는 고급 석판 처리 후 처리에 적합한 선택입니다.
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