판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9195905

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 반자동 웨이퍼 & 마스크 스크러버로, 다양한 기판에 대한 종합적인 클리닝 솔루션을 제공합니다. 포토 마스크, 하드 마스크, 반 영구 마스크 등 다양한 마스크를 청소할 수 있습니다. "스크러버 '는 특이 한" 스크러빙' 방법 을 사용 하여 민감 한 기판 을 손상 시키지 않고도 오염 물질 을 가능 한 한 철저 히 제거 한다. 스크러빙 프로세스는 원형 베이스의 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 의 자동 회전으로 시작됩니다. 연마제 "브러쉬 '는" 로봇' 팔 끝 에 붙어 있고 팔 은 회전 하여 "마스크 '의 표면 을 긁는다. 연마 브러시는 섬세한 기판을 손상시키지 않고 표면에서 입자, 파편, 오염물을 제거하도록 설계되었습니다. 회전 동작은 또한 스크러빙이 균등하고 일관되게 수행되도록 보장합니다. 또한 DNS SSW80A-AR 에는 기판을 균등하고 효율적으로 청소하도록 설계된 클리닝 바스 (Cleaning Bath) 가 장착되어 있습니다. 이 청소 목욕탕은 2 개의 별도 목욕탕 (유기농 청소 목욕탕 및 미네랄 청소 목욕탕) 으로 구성됩니다. 유기 청소 "욕조 '는 오염 물질 을 용해 하여 그 들 의 개별 성분 으로 분해 시키는 여러 가지 화학 물질 로 구성 되어 있다. "미네랄 '청소" 욕조' 에서 오염 물질 은 더 분해 되어 기판 에서 제거 된다. 청소 "욕조 '는 또한 기질 의 잔류 및 오염 이 완전 히 제거 되도록 한다. 스크러버에는 안전하고 효율적인 청소 절차를 보장하는 다양한 안전 기능도 있습니다. 이 "센서 '에는 기판 에 있는 물 을 검출 하고 어느 정도 안전 한 수준 을 초과 하면" 스크러버' 를 차단 하는 물 "센서 '가 들어 있다. 이것은 물이 오염되지 않도록 보호합니다. 또한 입자가 스크러빙 (scrubbing) 과정을 통과하고 스크러빙 (scrubbing) 욕조로 들어가는 것을 방지하는 필터 시스템이 특징입니다. 사용자 친화적 인 DAINIPPON SSW-80A-AR 인터페이스를 사용하면 스크러빙 매개 변수를 쉽게 사용자 정의하고 조정할 수 있습니다. 사용자 친화적 설계를 통해 설치/운영에 필요한 작업 시간과 수작업 (manual labor) 을 줄일 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 시스템 성능과 효율성을 추적하기 위한 고유한 모니터링 시스템도 함께 제공됩니다. DNS SSW-80A-AR 은 wafer 및 mask scrubbing 의 고급 정확성과 효율성을 필요로 하는 고객에게 적합한 선택입니다. 특유의 스크러빙 방식 (scrubbing method), 2 개의 개별 클리닝 욕조 (cleaning baths) 및 다양한 안전 기능 (safety feature) 을 통해 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 안정적이고 신뢰할 수있는 기계로, 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.