판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9149127

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR Wafer & Mask Scrubber는 반도체 포토 마스크 청소를 위해 특별히 설계된 소형 자동 스크러빙 장비입니다. 이 시스템은 3 개의 스크러빙 모듈 (웨이퍼 스크러버, 마스크 스크러버 및 프리 드라이어) 로 구성됩니다. 웨이퍼 스크러버 모듈은 최대 8 개의 6 인치 웨이퍼 카세트를 지원하는 범용 전송 장치로 구성됩니다. 이 기계에는 3 축, 고해상도 자동 웨이퍼 로테이터가 장착되어 있으며, 직경 200mm (레티클) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 회전시킬 수 있습니다. 그런 다음 웨이퍼는 스핀 스프레이 (spin-sprayed) 되고 세제 용액으로 스프레이 (sprayed-scrubbed) 되어 철저한 청소를 보장하고 고압 린스가 이어집니다. 마스크 스크러버 (mask scrubber) 모듈은 액체 브론징 마스크를 청소하도록 설계되었으며, 최적의 스크러빙 각도로 자동 배치되는 3 축 로봇 기계식 암 (mechanical arm) 으로 구성됩니다. 이렇게 하면 모든 표면 결함이 마스크에서 효과적으로 제거됩니다. 그런 다음 마스크를 회전시켜 세제 용액으로 긁은 다음, 고압 린스 (rinse) 로 긁습니다. 프리 드라이어 모듈 (predryer module) 은 표면 온도가 상승하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 스크러빙에서 잔류 가스를 봉인하는 핫 플레이트 건조 도구입니다. 에셋은 최대 800 ° C 온도에 도달 할 수있는 전기 히터 (electric heater) 와 핫플레이트의 열 및 전압 변화를 감지하기위한 신호 감지 모델 (signal detection model) 로 구성됩니다. 장비에는 건조 주기를 정확하게 제어 할 수있는 2 단계 온도 타이머 (timer) 도 장착되어 있습니다. DNS SSW80A-AR은 반도체 포토 마스크를위한 효과적인 청소 시스템으로 설계되었습니다. 모듈식 설계는 3 개의 스크러빙 모듈을 동시에 사용할 수 있도록 하며, 하나의 프로세스에서 최대 8 개의 6 인치 웨이퍼 및 최대 60 개의 마스크를 매우 효율적으로 청소할 수 있습니다. 또한, 핫플레이트 프리 드라이어 (hot plate predryer) 는 웨이퍼 및 마스크 표면에 잔류 가스가 남지 않도록 보장하여, 신뢰성이 높은 재료 처리를 허용합니다.