판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9023762

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ID: 9023762
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Scrubber, 8" (4) Cassette stage (3) Front, (1) back, (2) reverse Main controller: NEC computer I-Robot Type: Vacuum arm Ceramic Pincette Laser diode type mapping sensor P-Robot Type: (2) Wafer transfer main robots Indexer: (4) Cassette carrier station (25) Wafer slots cassette Scrubber: Right arm bush (1 nozzle) left arm D-sonic nozzle Spin servo motor (1) Nozzle wafer backside rinse Cup Exhaust flow monitor with interlock Rinse, back-rinse nozzle with flowmeter Digital vacuum sensors and interlocked for spin unit Currently stored in cleanroom 1995 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR은 반도체 제작에 사용하기 위해 완전히 자동화 된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 직경이 최대 8 "인 다양한 웨이퍼와 레티클을 수용하도록 설계되었습니다. 장비는 1 "스크럽 경로와 동시에 여러 웨이퍼에 대한 3" 스크럽 경로로 단일 레티클을 청소할 수 있습니다. 그것의 디자인은 또한 배치 처리 (batch processing) 를 허용하여 여러 레티클을 동시에 스크러브 할 수 있습니다. DNS SSW80A-AR의 고속 청소 시스템은 2 개의 독립적 인 브러싱 메커니즘과 2 개의 개별 청소 솔루션으로 구동됩니다. 가변 속도 제어는 3000rpm 높은 속도로 매우 정밀한 스크러빙 동작을 허용합니다. 또한, 이 장치는 고유 한 2 개의 노즐 디자인을 사용하여 에어로졸화 된 입자 (aerosolized 또는 airborne particle) 의 양을 줄여 더 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. 이 마스크 스크러버는 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 몇 가지 고급 기능을 제공합니다. 예를 들어, HD 자동 로더 (HD Auto Loader) 는 일정한 급지율을 유지하므로 조각이 간과되지 않도록 합니다. 내장 타이머는 또한 타이밍 된 스크러빙 시퀀스를 더 정확한 프로그래밍하도록 허용합니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 여러 가지 "클리닝 '솔루션 과" 패브릭' "필터 '가 들어 있어, 그 들 에게 매우 다양 한 청소 옵션 이 있다. DAINIPPON SSW-80A-AR은 (는) 잠재적 손상 또는 손상의 운영자에게 경고하는 경고 표시등, 전원 켜기 및 끄기의 외부 전원 스위치, 비상 정지 스위치를 사용하여 기계를 종료하는 등, 최대 안전을 위해 제작되었습니다. 비상. 또한, 고품질 구조는 뛰어난 안정성과 장기적인 내구성을 제공하도록 설계되었습니다. DNS/DAINIPPON SS W80A AR은 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 집약적인 생산 환경에 적합합니다. 강력한 청소 도구, 정확한 조정 기능, 고효율 설계를 통해 반도체 제작을 위한 완벽한 선택이 가능합니다.
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