판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #9306111
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-A Wafer & Mask 스크러버는 집적 회로 제작의 photolithography 프로세스에 사용되는 광학 부품을 청소하기 위해 특별히 설계되었습니다. 스크러빙 장치 (scrubbing unit) 와 운송 장치 (transport unit) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스크러빙 장치 (scrubbing unit) 는 웨이퍼 표면에서 청소 동작을 수행하는 역할을합니다. 자외선 (UV) 램프와 맑은 유리 굵은 스크러빙 디스크가 결합 된 강력하고 조절 가능한 스크러빙 휠 모터가 특징입니다. 스크러빙 휠 모터는 부드럽고 일관된 스크러빙 동작을 용이하게하도록 설계되었습니다. UV 램프는 잔류 오염 물질이 조사되고 쉽게 제거되도록 하는 역할을합니다. 거친 스크러빙 디스크는 완고한 입자와 오염 물질을 제거하는 데 효과적입니다. 수송 장치 (Transport Unit) 는 스크러빙 장치를 통해 웨이퍼 또는 마스크의 일관되고 정확한 움직임을 제공하도록 설계되었습니다. 이것 은 여러 개 의 "로울러 '마차 와 회전식" 노울드 휠' 을 갖춘 전동 "트랙 '장치 를 사용 하여 행해진다. 마차 와 "휠 '은" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 부드럽고 효율적 이며 정확 한 이동 을 촉진 하도록 설계 되었다. DNS SSW 80A 는 통합 회로 제작에 사용되는 Wafer 또는 Mask 를 청소하는 데 사용하기 쉽고 경제적인 솔루션입니다. 그것 은 먼지, 먼지, 기타 입자 와 같은 표면 오염 물질 을 청소 할 수 있으며, "웨이퍼 '나" 마스크' 가 광석판 촬영 과정 전 에 깨끗 함 을 보장 한다. 운영은 안전하고 효율적이며 유지 보수가 적습니다. 또한, 스크러빙 장치 (scrubbing unit) 와 전송 장치 (transport unit) 는 다양한 구멍 패턴으로 광범위한 기판 크기를 지원합니다.
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