판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #9306109

DNS/DAINIPPON SS-W80A-A는 일본의 반도체 및 산업 장비 제조 리더 인 DNS Screen Co.의 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버 장비입니다. 이 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 는 기존 클린 룸 처리 시스템에 쉽게 통합 할 수있는 자동 독립형 시스템입니다. DNS SSW 80A는 고급 "와퍼 (around-the-wafer)" 스크러빙 기술을 사용하여 반도체 공정 웨이퍼 및 포토 마스크 표면에서 입자, 이온 오염 및 기타 재료를 자동으로 제거합니다. DAINIPPON SSW _ 80A _ A는 포토 마스크 및 웨이퍼에서 입자를 제거하는 검증된 경제적인 방법으로 설계되었습니다. 이 장치에는 혁신적인 "와퍼 (around-the-wafer)" 스크러빙 기술이 장착되어 있으며, 스크러빙 헤드는 웨이퍼 표면 주변의 편심 운동으로 회전하여 입자 수를 줄입니다. 20 rpm 이상의 속도로 고정밀 스크러빙이 가능합니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 의 움직임은 조절 가능하며 웨이퍼 (wafer) 또는 포토 마스크 (photomask) 의 형상에 맞춰 조정할 수 있으며, 최소 재료 폐기물로 전체 정화 커버리지를 제공합니다. 기계는 또한 스크러빙 중 웨이퍼 (wafer) 표면에서 이상을 감지하여 모든 웨이퍼 (wafer) 표면을 정확하게 청소할 수 있습니다. SS-W80A-A는 안전성과 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 는 각 웨이퍼 및 마스크에 대해 최적의 시퀀스와 스크러빙 선 속도를 제공합니다. 또한 스크러빙 스트로크 (scrubbing stroke) 의 유연한 타이밍을 제공하여 사전 청소 검사의 데이터를 수용합니다. 에셋에는 모델을 쉽고 직관적으로 작업할 수 있는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. 장비에는 다양한 고급 기능도 있습니다. 양성 (positive) 과 음성 (negative) 광 소시스트를 스크러빙하여 원하는 수준의 잔류 자유 표면을 유지할 수 있습니다. 또한, "웨이퍼 '의 수명 을 연장 하기 위하여" 웨이퍼' 의 "스크리빙 '과" 비드' 제거 "라인 '을 청소 하는 데 사용 할 수 있다. 이 시스템은 효과적인 먼지 없는 방법으로 입자를 추출하고 배출하는 강력한 흡입 장치를 가지고 있습니다. 또한 고급 화학 관리 장치 (Advanced Chemical Management Unit) 를 통해 화학적 폐기물을 빠르고 쉽게 관리할 수 있습니다. 전반적으로 DNS SS-W80A-A 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 웨이퍼와 포토 마스크 모두를 청소하기위한 안정적이고 효율적인 기계입니다. 완벽하게 자동화되고 커스터마이징 가능한 스크러빙 (scrubbing) 기술과 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 이 툴은 다양한 반도체 프로세스 (semiconductor process) 와 프로덕션 어플리케이션 (production application) 에 이상적인 선택입니다.