판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80A-A #293587406
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-A Wafer & Mask Scrubber는 반자동, 신뢰성, 사용하기 쉬운 웨이퍼 및 마스크 클리너입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 자동화된 방법을 사용하여 운영자가 설정한 정확한 압력으로 깨끗한 환경에서 웨이퍼와 마스크를 청소, 이동, 저장, 분배합니다. 그것 은 특수 한 "브러쉬 '를 사용 하여" 웨이퍼' 나 "마스크 '에서" 입자' 를 기계적 으로 제거 한 다음 수용액 을 사용 하여 "입자 잔류 '와 기타 오염 물질 을 제거 하는 원리 로 작용 한다. DNS SSW 80A A는 웨이퍼 청소에 2 열 하단 브러쉬, 마스크 청소에 2 열 측면 브러쉬를 사용합니다. 브러쉬는 연마재로 만들어졌으며, 표준 및 고성능 등급으로 제공되며, 서비스 수명 연장 (옵션) 을 위해 커버가 제공됩니다. 스크러버에는 7 인치 멀티 터치 디스플레이 (multi-touch display) 가 있는 사용자 친화적 인 휴먼 머신 인터페이스 (human machine interface) 가 있어 운영자가 클리닝 프로세스를 선택하고 데이터 결과를 모니터링하고 저장할 수 있습니다. 청소 효율을 더욱 높이기 위해, 스크러버에는 스프레이 (spray) 의 각도와 스프레이 (spray) 의 높이를 선택할 수 있는 조절식 노즐 (nzzle) 을 갖춘 세척 시스템이 있습니다. 또한, 화학관 (옵션) 이 있는 청소 솔루션 디스펜서 (옵션) 를 사용하여 청소 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 스크러버에는 편리한로드 및 언로드를위한 2 개의 3 인치 웨이퍼 홀더와 마스크 이동이 용이한 2 개의 마스크 홀더가 장착되어 있습니다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 비상 정지 버튼, 모터 과부하 방지 (motor overload protection), 클리닝 브러쉬가 마스크 또는 웨이퍼와 접촉하지 않도록 하는 창 제한 센서 (window limit sensor) 와 같은 안전 기능이 내장되어 있으며, 브러쉬가 가면을 긁는 것을 방지하는 압력 척도 (pressure scale) 가 있습니다. 또는 웨이퍼. 게다가, 기계에는 청소 공정 (cleaning process) 에 의해 만들어진 입자를 포획하고 청소실 오염을 방지하기위한 2 단계 필터 시스템이 있습니다. DAINIPPON SSW _ 80A _ A는 뛰어난 성능과 내구성을 제공합니다. 원래의 기계 설계 및 청소 시스템은 신뢰성이 높으며, 더 나은 반복성과 일관된 결과를 산출합니다. 고급 기술, 사용하기 쉽고 직관적인 인터페이스, 다양한 안전 기능으로 인해 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 문지르고 청소하는 데 비용 효율적이고 안정적인 솔루션이 됩니다.
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