판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W80-AR #293625927

DNS/DAINIPPON SS-W80-AR은 DNS Ink and Chemicals Inc.에서 개발 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 한 번에 최대 80 개의 웨이퍼와 마스크를 청소할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 효율적이고 반복 가능한 단일 웨이퍼 스크러빙을 제공하여 최종 사용자가 균일 한 웨이퍼 클리닝 프로세스를 달성 할 수 있도록 설계되었습니다. 스크러버에는 고정 각도, 이중 탱크 디자인이 있습니다. 1 차 "탱크 '는 스크러빙' 과정 에 사용 되고, 2 차" 탱크 '는 "린스' 에 사용 된다. "스크러버 '에는 또한" 슬로우트' 가 달린 상단 갑판 이 있는데, 이것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 세척 하기 위해 회전 시킬 수 있다. 스크러버는 10 분 전 흡입 기간을 포함하여 30 분의 사이클 시간으로 작동합니다. 스크러빙 프로세스는 노즐과 브러쉬를 사용하여 수행됩니다. 스크러버에는 2 개의 다른 브러쉬 패턴과 5 개의 노즐 헤드가 다양한 위치에 고정되어 있습니다. "노즐 '머리 는 고정 된 압력 과 물 흐름 속도 로 정해진" 클리닝' 수준 을 전달 하도록 설정 되어 있다. 스크러버에는 2 개의 펌프 시스템과 물 오버플로 제어가 포함되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 4축 프로그래밍 가능 모션 컨트롤 시스템이 장착되어 있어 스크러빙 모션을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 스크러빙 프로세스 (scrubbing process) 동안 웨이퍼의 회전, 각도, 깊이, 스크러빙 속도와 각도를 제어할 수 있습니다. 스크러버에는 작업을 제어하기 위한 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스도 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 스크러빙 매개변수를 사용자 정의하고 LCD 디스플레이를 통해 클리닝 결과를 볼 수 있습니다. 스크러버 (Scrubber) 는 또한 운영자와 장비를 부작용으로부터 보호하기위한 안전 조치를 특징으로합니다. 여기에는 자동 차단 스위치 (기계가 최대 온도에 도달하는 경우), 내장 경보 시스템 (내장 경보 시스템), 안전 추가를 위한 덮개 잠금 장치 (lid lock) 가 포함됩니다. DNS SS-W80A-R 스크러버의 전체 설계는 반복 가능하고 일관성 있고 자동화된 단일 웨이퍼 클리닝을 제공합니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 및 안전 측정 (Safety Measure) 과 결합하여 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 원하는 사용자에게 이상적인 선택입니다.