판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-W60A-A #9306100

DNS / DAINIPPON SS-W60A-A
ID: 9306100
빈티지: 2000
Scrubber 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W60A-A 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 반도체 장치 및 마스크를 청소하고 스크러빙하도록 설계된 완전 자동 습식 스테이션입니다. 무늬 기판 및 마스크를 매우 깨끗하게 스크러빙할 수 있는 탁월한 선택으로, 높은 수준의 청결 함, 반복 가능성, 비접촉식 스크러빙이 특징입니다. 스크러빙 스테이션에는 장치 수준의 스크러빙 장비가 장착되어 있으며, 매우 정밀한 제어가 가능합니다. 스크러빙 시스템은 통합 스크러빙 헤드 (scrubbing head), 온보드 스크러빙 솔루션 탱크 (on-board scrubbing solution tank) 및 RRPC (positional relative positioning control) 기술을 갖춘 스크러빙 암으로 구성되어 전체 장치 또는 마스크의 전체 스크러빙 범위를 보장합니다. 스크러빙 용액은 스크러빙을 보장하기 위해 정밀하게 타이밍 된 쿼츠 밸브 (quartz valve) 에 의해 매우 높은 압력으로 주입됩니다. 입자를 더 감소시키기 위해, 스크러빙 스테이션에는 먼지 제거 장치 (dust-removal unit) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 장치 또는 마스크와 접촉하기 전에 공기 매개 입자가 제거됩니다. 스크러빙 스테이션 (scrubbing station) 에는 자외선 오염 제거 장치 (decontaminator) 가 있으며, 이는 웨이퍼 또는 마스크의 잔류 오염을 비활성화합니다. 웨이퍼 & 마스크 스크러빙 스테이션 (Wafer & Mask Scrubbing Station) 은 단순한 원버튼 작동으로 안정적이고 사용자 친화적입니다. 이 스테이션에는 각 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 스크러빙 내역을 기록한 통합 감사 머신 (audit machine) 이 있으며 스크러빙 방법에 대한 데이터를 수집합니다. 이를 통해 스크러빙 조건과 추세를 자세히 분석 할 수 있습니다. 전반적으로 DNS SS-W60A-A 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 매우 깨끗한 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을위한 훌륭한 플랫폼을 제공합니다. 매우 안정적이고 사용자 친화적이며, 높은 수준의 청결 성, 반복 성, 먼지 제거 및 자외선 오염 제거가 특징입니다. 이 장치는 뛰어난 스크러빙 성능을 제공하여 모든 장치 또는 마스크의 정확하고 완벽한 커버리지를 보장합니다.
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