판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9233395
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DNS/DAINIPPON SS-80BW-AR은 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 추가 처리에 앞서 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 위해 깨끗하고 건조한 표면을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 설계는 안전하고 효율적인 클리닝 프로세스를 제공하면서 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면에서 입자 제거를 개선합니다. DNS SS-80BW-AR에는 웨이퍼 및 마스크 표면을 효과적으로 스크러빙하는 데 도움이되는 여러 기술이 있습니다. 이 장치는 로우 프로파일 (low-profile) 자동 웨이퍼 및 마스크 처리 로봇을 사용하여 스크러빙 디스크를 집어 넣습니다. 스크러빙 (scrubbing) 디스크는 제어된 방식으로 웨이퍼 및 마스크 표면에서 입자를 제거하도록 특별히 설계되었습니다. 특허받은 텅스텐-카바이드 (tungsten-carbide) 합금으로 만들어져 낮은 프로파일과 뛰어난 성능을 제공합니다. 그런 다음 스크러브 된 표면을 디지털 광학 시스템으로 즉시 검사합니다. 이 분석은 입자 수준에 대한 즉각적인 피드백을 제공합니다. 입자의 밀도는 미리 설정된 필터링 기준과 비교되며, 판독값이 사용자가 설정한 최대 한계 (maximum limit) 를 초과하면 장치가 자동으로 수정 동작을 적용합니다. 이 교정 조치에는 추가 린싱 및 스크러빙 또는 디커밍 제가 포함될 수 있습니다. DAINIPPON SS 80BW AR은 쉽게 사용할 수 있도록 설계된 간단한 사용자 인터페이스에서 작동합니다. 이 장치를 사용하면 스크러빙 각도 (scrubbing angle), 린스 (rinse) 및 건조 시간 (dry time), 사이클당 디스크 수 (number of disk per cycle), 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있는 기타 다양한 매개변수 등 다양한 작업에 대한 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 예기치 않은 문제가 발생하면 시스템을 종료하는 내장 안전 시스템 (내장 안전 시스템) 이 있습니다. DNS SS 80BW AR 을 기존 웨이퍼 및 마스크 스크러버와 비교하면 성능 향상이 뛰어납니다. 고유한 스크러빙 프로세스는 기존 기술보다 3 배 빠릅니다. 또한, 이 장치는 정확하고 효율적이며, 최소 스크러빙 화학 물질을 사용하면서 최대 99% 의 입자를 제거합니다. 제품 품질 및 안전을 보장하면서 입자 제거를 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SS 80BW AR은 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 프로세스 모두에 적합한 선택입니다. 고급 설계는 뛰어난 성능, 정확성 및 효율적인 작동으로 정확한 입자 청소를 제공합니다. 이 장치는 깨끗하고, 건조하며, 입자가 없는 표면이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다.
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