판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9205458

DNS/DAINIPPON SS-80BW-AR은 리소그래피 생산을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 높은 수준의 자동화 및 제어를 제공하여 웨이퍼 또는 마스크에 해를 끼치지 않고 신뢰할 수있는 클리닝을 제공합니다. 이 장비 는 "렌즈 '와 노출" 시스템' 이전 의 청소 "마스크 '와 개발 후 의" 웨이퍼' 를 문지르는 등 여러 가지 응용 에 적합 하다. DNS SS-80BW-AR 스크러버 (scrubber) 는 고정밀 컨트롤러, 적응형 스크러빙 힘, 간편한 액세스를 위한 힌지 (hinged) 뚜껑과 같은 기능을 통해 안정적이고 효율적인 클리닝 프로세스를 제공합니다. 스크러버는 컴퓨터 제어 힘을 사용하여 부드러운 마스크 및 웨이퍼 스크러빙을 제공합니다. 이 힘은 0.8 ~ 2.4N 사이에서 조정되어 청소가 스크러빙 (scrubbed) 물질의 민감도에 최적으로 적합하도록 할 수 있습니다. 스크러버에는 두 가지 주요 섹션이 있습니다. 스크러빙 휠과 클리닝 유체가 장착 된 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 와 컨트롤 챔버 (control chamber) 가 있습니다. "클리닝 챔버 '는 이전" 웨이퍼' 로부터의 세척 액체 의 운반량 을 감소 시키도록 설계 되었다. 제어 챔버에는 진공 소스, 온도 센서, 힘 센서, 압력 센서, 청소 프로세스의 실시간 모니터링을위한 CCD 카메라가 있습니다. 이 "시스템 '은 낮은 입자 와 물 오염 을 위해 설계 되었으며," 스크러빙' 도구 의 온도 조절 장치 를 포함 하고 있다. 또한 RR 모니터 기능을 통해 입자 크기, 농도, 유량을 모니터링할 수 있습니다. 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 DAINIPPON SS 80BW AR 스크러버 (AR scrubber) 는 스크러빙 프로세스 동안 사용자에게 잠재적 오염 또는 오류를 경고하도록 설계되었습니다. 기계 는 또한 매 사용 할 때 마다 "스크러빙 휠 '을 자동적 으로 청소 하여" 웨이퍼' 간 의 교차 오염 을 방지 하도록 설계 되었다. SS-80BW-AR은 리소그래피 생산에서 웨이퍼 및 마스크 청소에 이상적인 선택입니다. 조정 가능한 스크러빙 힘, 온도 조절, 입자 제어를 통해 안정적이고 자동화된 클리닝 프로세스를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 사용 및 유지 관리가 용이하여 가동 중지 시간을 줄이고 생산성을 향상시킵니다.