판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293810127

ID: 293810127
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Wafer scrubber, 12" Power box (4) Load ports Wafer type: Notch Main controller Host controller Indexer Transfer robot Reverse unit (4) SSM Spin units (4) SSV Spin units (4) SHINKO SELOP Load ports CO2 Bubbler maker Remote AC Box Handler system: (4) SS Chucks (4) SSR Chucks Indexer robot Transfer robot Reverser Process chambers: SC1 CO2 Water Rinse / Spin dryer Process: Brush DI Water filter (3) Nozzles: Spray, rinse, back rinse SSV: Vacuum chuck (5) Nozzles: Back side rinse, SC1, Spray1, Brush1, Brush2 SSM: Magnetic chuck (4) Nozzles: Back side rinse, SC1, Spray1, Brush1 Power supply: 208 V, 60 Hz 2012 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3100 Wafer & Mask Scrubber는 혁신적인 새로운 스크러빙 툴로, 고급 광학 및 반도체 포장을 위해 설계되었습니다. 이 최첨단 스크러버 (scrubber) 는 고급 청소, 고에너지 집중, 초임계 유체 분산 기술의 독특한 조합으로, 민감한 광학 구성 요소와 집적 회로의 철저하고 효과적인 청소를 가능하게합니다. DNS SS-3100 스크러버는 특수 3 모드 제어 진공을 사용하여 모든 유형의 기판 또는 마스크 웨이퍼에서 먼지, 입자 및 표면 결함을 효과적으로 제거합니다. "스크러버 '의 진공 장치 는 여러 가지 크기 와 모양 의 기판 에 쉽게 적응 할 수 있도록 설계 되어 있으며, 최적 의" 스크러빙' 환경 을 조성 한다. 또한, "스커버 '는 석유," 솔더' 및 기타 공업용 잔류 물 을 포함 한 모든 종류 의 오염 물질 을 효과적 으로 제거 하여 가장 깨끗 한 결과 를 얻을 수 있다. DAINIPPON SS 3100 스크러버를 사용하면 실리콘 (silicon), TFT (TAFT) 와 같은 민감한 마스크와 웨이퍼를 쉽게 청소하여 반도체 업계의 품질 제어를 강화할 수 있습니다. DNS SS 3100 스크러버 (Scrubber) 는 청소 과정에서 최대의 효과를 보장하기 위해 고에너지 초점 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 개선 된 반 도체 표면 매끄러움에 대한 플루오린 및 설페이트 오염 수준을 효과적으로 줄이고 폴리머 및 접착제의 오염을 감소시킵니다. 또한, 얇은 레이어를 정확하게 청소하기 위해 레이어 얇은 프로세스를 효과적으로 제어합니다. 초임계 유체 분산 기술 덕분에 SS 3100 스크러버는 초음속 제트 (jet) 속도가 높은 원치 않는 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 공기/액체 가스 믹스 (air/liquid-gas mix) 를 생성함으로써, 스크러버는 매우 집중된 청소 솔루션을 생산하여 다양한 표면 문제를 효과적으로 해결할 수 있습니다. 이 기술 로 "스크러버 '는 기판 과" 마스크' 의 표면 을 깨끗 이 할 뿐 아니라 높은 정확도 로 조사 할 수 있다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON SS 3100은 고급 청소 기능과 중요한 유체 분산 기능을 제공하는 뛰어난 웨이퍼 및 마스크 청소 장치입니다. 이 "스크러버 '는 반도체 산업 에서 사용 하는 데 이상적 이며, 청소 과정 에서 최대 의 효율성 을 보장 해 준다. 또한, 표면 청소 결과를 면밀히 조사 할 수 있으므로 고성능, 품질 의식 (quality-conscious) 기업에게 적합한 선택입니다.
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