판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293652037
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DNS/DAINIPPON SS-3100은 마이크로 프로세서, 메모리 장치 및 기타 구성 요소와 같은 광범위한 반도체 장치를 처리하도록 설계된 웨이퍼 & 마스크 스크러버입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 에서 유기 오염 물질 과 기름 을 제거 하여, 더 많은 제조 작업 을 위해 깨끗 하고 안전 한 표면 을 조성 하도록 설계 되었다. DNS SS-3100에는 강력한 진공 모터 (vacuum motor) 와 표면 미립자를 제거하는 마이크로 연마성 스크러빙 시스템 (micro-abrasive scrubbing system) 이 포함 된 통합 스크러빙 장비가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 제어되며, 엔지니어가 자동화된 스크러빙 프로세스의 매개변수를 조정할 수 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 장치는 효과적인 청소 프로세스를 제공하면서 웨이퍼 및 마스크 손상을 최소화하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 개별 웨이퍼와 마스크를 한 주기로 처리하거나 배치 프로세스에서 여러 개로 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 3 단계 브러시 구성을 사용하며, 2 개의 미리 담근 브러쉬, 철저한 청소를위한 연마제 스크럽이 있습니다. 스크러버에는 입자 제거 속도를 측정하기 위해 광학 신호를 사용하는 Cleanliness detection 기능이 있습니다. 이 도구는 JEDEC Standard JESD-03 (표준 JESD-03) 에 설명 된 바와 같이 반도체 생산 플랜트의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. DAINIPPON SS 3100은 CE 및 UL 표준을 준수하는 스테인레스 스틸 하우징으로 구성되며 부식 내성 프레임이 특징입니다. 스크러버 (scrubber) 는 레벨링 프레임에 장착되며 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어하기위한 3 축 틸팅 테이블이 특징입니다. 스크러버 내부에 일련의 유체 필터 카트리지가 장착되어 스크러빙 액체 (scrubbing liquid) 의 필터링을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 워시 탱크 (wash tank) 와 고속 건조 부문과 통합되어 완전한 청소 및 건조 주기를 효율적으로 수행합니다. DNS SS 3100 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 효율적인 스크러빙 및 최적의 클리닝 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 의 견고한 설계는 긴 수명과 민감한 부품의 보호를 보장합니다. 첨단 제어 시스템을 사용하는 스크러버 (scrubber) 는 포괄적인 청소 프로세스와 안정적인 결과를 제공합니다. 이 자산은 다양한 반도체 (semiconductor) 장치 제조에 적합하며, 업계 표준 설계는 생산 라인에서 안정적인 성능을 보장합니다.
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