판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293615354
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ID: 293615354
빈티지: 2009
Wet clean wafer scrubber
Index block
Main block
Power box
(4) Cymechs load ports
(2) Cable boxes
Sub panel
DVR Box
(2) Electric boxes
MHU / IHU KAWASAKI 639Y1429 / 1427
Missing pump IWAKI
Chamber / MHU / IHU PC Meiden UPIBOC-1
2009 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3100 Wafer & Mask Scrubber는 다양한 유형의 웨이퍼와 마스크를 스크러빙하고 청소 할 수있는 기계입니다. 스크러버 (scrubber) 는 초음파, 발포 워터 제트 (foaming water jet) 및 다양한 스크럽 헤드를 사용한 오염 제거 처리가있는 고급 청소 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 안전하고, 철저하고, 완전하며, 일관된 청소를 제공하기 위해 고속 스크럽 동작, 금속성 마비, 핀셋 및 회전 브러시를 특징으로합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 이중 축 회전 스테이지와 수동 스크럽 헤드가 장착되어 있으며, 둘 다 직경 8 인치까지 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 최적의 세척 및 스크러빙 동작을 위해 빠르고 꾸준히 회전 할 수 있으며, 빠른 속도와 정밀도를 가진 AC 서보 모터 (AC servo motor) 로 구동됩니다. 스크러빙 헤드는 x축 (x-axes) 과 y축 (y-axes) 으로 자유롭게 움직이도록 설계되어 철저한 정화를 위해 웨이퍼의 모든 구석을 스크러브 할 수 있습니다. DNS SS-3100 은 직관적인 터치 스크린 제어를 통해 원터치 수동 조작을 통해 최적의 세척 및 스크러빙을 지원합니다. 스크러버에는 6 리터 워터 탱크와 4 개의 클리닝 탱크가 있으며, 다양한 세척 및 스크러빙 작업을 수행 할 수있는 충분한 물 용량과 수명을 제공합니다. 혁신적으로 설계된 스크럽 헤드 (scrub head) 는 모든 형태의 웨이퍼나 마스크에서 일관되고 효과적인 클리닝 성능을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 독특한 에어나이프 시스템 (air-knife system) 을 사용하여 웨이퍼의 물 함량을 줄여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 시간 소모적인 건조 시간없이 빠르게 건조하고 재사용할 수 있도록 합니다. 이 스크러버 (Scrubber) 는 온도센서, 과열 방지를위한 안전 스위치, 과열 방지 용 자동 빈 소크 탱크 (soak tank) 시스템 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 과 클리닝 (cleaning) 과정을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있으며, 양질의 제품을 제공하여 안전을 보장합니다. DAINIPPON SS 3100은 높은 사양에 맞게 웨이퍼와 마스크를 효율적으로 청소하는 완벽한 도구입니다.
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