판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293591974

DNS/DAINIPPON SS-3100 Wafer & Mask Scrubber는 반도체 제작 공정을 위해 설계된 최고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. EUVL (Extreme Ultraviolet Lithography) 을 포함하여 가장 고급 반도체 기술에 고급 자동 마스크 클리닝을 제공 할 수 있습니다. 혁신적인 스크러버 (scrubber) 디자인은 최종 제품이 깨끗하고, 안정적이며, 오염이 없도록 하는 데 도움이됩니다. DNS SS-3100 은 전체 자동 웨이퍼 및 마스킹 서브시스템으로 설계되어 스크럽 주기마다 100% 의 일관된 결과를 보장합니다. 스크러빙 장비는 wafer/mask cleaning station 및 scrub software의 두 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 이 클리닝 스테이션 (Cleaning Station) 에는 인체 공학적으로 설계된 운영자 인터페이스가 있으며, 현대적인 외관과 느낌으로 쉽게 사용할 수 있습니다. 스크럽 (scrub) 소프트웨어는 사용자 정의 설정을 통해 응용 프로그램의 정확한 제어 및 반복 기능을 사용할 수 있습니다. DAINIPPON SS 3100은 최대 12 개의 웨이퍼와 16 개의 마스크의 로딩 용량을 갖습니다. 이러 한 유연성 은 여러 가지 크기 의 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 긁을 수 있게 해 주며, 이것 은 현대 의 반도체 생산 에 사용 되는 여러 가지 과정 에 잘 적응 할 수 있게 해 준다. 최대 공정 피치는 웨이퍼 (wafers) 에 125m, 마스크 (mask) 에 25m이며, 스크러버는 최고급 및 가장 중요한 마스크 패턴조차도 정리 할 수 있습니다. DNS SS 3100 은 최고 품질의 스크럽 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼/마스크 클리닝 모듈은 혁신적인 3 단계 클리닝 프로세스를 사용하여 마스크 및 웨이퍼 서피스가 깨끗하고 오염이 없는지 확인합니다. 스크러빙 작업 (scrubbing operation) 은 초미세 연마제, 물 및 클리닝 솔루션을 사용하여 완전한 클리닝을 보장하고 스크럽 결과의 최적의 반복성을 위해 특수 바운스 방지 백 (anti-bounce back) 기능을 제공합니다. SS 3100 은 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 쉽게 사용할 수 있도록 사용자 친화적이고 직관적인 인터페이스로 설계되었습니다. 견고한 성능 진단 (Performance Diagnostics) 메뉴를 사용하면 장치의 상태를 확인하고 문제를 빠르고 정확하게 진단할 수 있습니다. 이 기계는 또한 스크러버 (scrubber) 가 과로되지 않고 프로세스 재료를 손상시킬 수 있도록 경보 보호 (alarm protection) 를 제공하며 사용자 유지 관리 메뉴 (user maintenance menu) 를 통해 빠르고 쉽게 체크업을 수행할 수 있습니다. 요약하면, DNS/DAINIPPON SS 3100 Wafer 및 Mask Scrubber는 반도체 마스크 및 웨이퍼 스크러빙 작업을 위해 매우 유능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 스크러버 (scrubber) 는 가볍고 인체 공학적 디자인으로 설계되어 스크러빙 프로세스가 쉽고 효율적입니다. 스크러빙 (scrubbing) 결과는 반복 가능하며, 최종 제품의 신뢰성에 필수적인 매우 높은 품질입니다. 통합 진단 유틸리티 (Diagnostics), 경보 보호 (Alarm Protection) 및 사용자 유지 관리 (User Maintenance) 메뉴는 스크러버를 신뢰성이 높게 만들고 최신 반도체 제작 절차를 따라야 합니다.