판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3100 #293591331
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ID: 293591331
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Wet clean wafer scrubber, 12"
Process: TMAH Scrub
(4) Load ports
(8) Scrubber process cups
TMAH Chemical cabinet
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Stand alone power / Power supply cabinet
2008 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3100은 DNS Screen Mfg.에서 제조 한 웨이퍼/마스크 스크러버입니다. Co., Ltd.는 반도체 산업을위한 고급 청소 및 스크러빙 솔루션을 제공합니다. DNS SS-3100 은 사진 (photolithography), 플라나라이제이션 (planarization), 검사 (inspection) 등 다양한 응용 분야에서 파퍼와 마스크에서 입자와 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 고급 자동화 기술을 활용하여 안전하고 효율적이며 제어된 웨이퍼/마스크 청소 프로세스를 제공합니다. 정밀하고 균일 한 청소를위한 4 헤드 스크러버 (4-head scrubber) 와 완전 자동화 된 물 및 용매 전달 시스템이 장착되어 있습니다. SC-3100 스크러버는 여러 유형의 기판을 처리 할 수 있으며 최대 8 x 10 인치 (200x250mm) 의 기판 및 마스크의 내부 스크럽을 지원합니다. 스크러버는 2 개의 독립적 인 스크러빙 헤드, 2 개의 개별 탱크 (물 및 용매 용 탱크) 및 자동 물 및 용매 전달 시스템으로 제작되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 또한 스크러빙 온도를 안정적으로 유지하고 일정한 기질 간 상호 작용을 유지하는 온도 및 슬로프 제어 기능이 포함되어 있습니다. 스크러버의 터치 스크린 디스플레이를 사용하면 단순하고 사용자에게 친숙한 작업을 수행할 수 있습니다. DAINIPPON SS 3100은 또한 웨이퍼 피더 (wafer feeder) 옵션, 마스크 정렬 기능 및 최고 수준의 자동화를 제공하는 벌크 스테이션 (bulk station) 과 같은 고급 기능을 제공합니다. 스크러버에는 Si, 세라믹 및 기타 재료와 같은 다양한 기판 재료를 지원하는 구성 가능한 스크러빙 프로세스가 있습니다. SS 3100은 스테인리스 (Stainless) 스틸 프레임으로 설계되었으며 먼지 및 수압에 대한 IP66 보호 등급입니다. 이 장치는 기존 시스템에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 스크러버는 사용자 친화적이며 유지 관리하기 쉽도록 설계되었습니다. 동시 스크러빙 (pre-scrubbing) 및 사후 스크러빙 (post-scrubbing) 측정이 가능하여 고품질 클리닝 프로세스를 보장합니다. 고급 설계는 우수한 청소 결과를 통해 정확하고 일관된 스크러빙 동작을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 프로세스를 개선하고 사용자 정의 옵션을 제공하는 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 전반적으로 DAINIPPON의 DAINIPPON SS-3100 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 산업을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 청소 솔루션입니다. 구성 능력이 뛰어나고, 정확하고, 일관성 있는 스크러빙 기능을 제공하며, 사용자 친화적인 인터페이스로 더욱 쉽고 효율적인 클리닝 프로세스를 제공합니다.
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