판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9228110

DNS/DAINIPPON SS-3000은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 장비입니다. 이 "시스템 '은 화학 청소제 를 사용 하여 제조 과정 을 저하 시키는 오염 물질 을 문지르게 한다. 이 장치는 자동화된 청소 (automated cleaning) 프로세스를 사용하여 일관되고 효과적인 청소 프로세스를 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 오염의 위험을 최소화하는 완전히 밀폐 된 디자인을 특징으로합니다. 스크러버는 3 가지 주요 구성 요소, 습식 공정 챔버, 레일 머신 및 전달 로봇으로 구성됩니다. 습식 공정 챔버 (wet process chamber) 는 전기 분해 동요 도구를 사용하여 웨이퍼에서 미립자 물질을 제거하는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 (wafer) 에서 동요 된 화학 물질의 마찰은 장치를 분해 할 수있는 미립자 물질을 분리하고 제거하는 데 도움이됩니다. 철도 자산은 배달 로봇이 스크러빙 (scrubbing) 영역 전체로 이동하고 깨끗한 웨이퍼를 스크러빙 (scrubbing) 영역으로 전달하도록 도와줍니다. 배달 로봇은 스크러빙 영역의 작동 및 청소를 담당합니다. 모델은 2 개의 회전 암으로 구성되며, 이를 통해 로봇은 다른 클리닝 프로세스에 액세스 할 수 있습니다. 첫 번째 "암 '은 청소제 를" 웨이퍼' 에 적용 하는 데 사용 되고 두 번째 "암 '은 청소 가 끝난 후 에" 웨이퍼' 를 집는 데 사용 된다. 이 장비는 스크러빙 과정에서 환경으로부터 오염을 방지하는 데 도움이됩니다. 스크러버의 자동 청소 (automated cleaning) 프로세스는 장치 생산량을 저하 시킬 수있는 미립자 물질을 제거하여 일관된 수준의 청결을 보장합니다. 또한, 동봉 된 디자인은 오염이 웨이퍼에 도달하지 못하게합니다. 스크러버는 작동하기 쉽고 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이것은 반도체 제조에 이상적인 선택입니다. 전반적으로 DNS SS3000은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템입니다. 이 장치는 오염이 웨이퍼 (wafer) 에 도달하는 것을 방지하면서 웨이퍼에 대한 일관된 수준의 청결을 보장합니다. 반도체 제조 운영에 좋은 선택입니다.