판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000 #9176375

DNS/DAINIPPON SS-3000은 표면에서 입자를 제거하도록 설계된 전문 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 기계적 (mechanical) 과 화학적 (chemical) 스크러빙 기술을 조합하여 높은 정확도로 10 나노미터 정도의 작은 입자를 제거합니다. DNS SS3000 은 e-Scope 와 스크러버 유닛의 두 부분으로 구성됩니다. 전자 범위 (e-Scope) 는 표적 표면의 최대 5,000 배의 크기를 확대하여 매우 정확한 입자 제거를 허용하는 현미경입니다. 스크러버 유닛은 다른 구성 요소이며, 스크러빙 제트 (scrubbing jet) 와 마이크로스피어 기반 린싱 장비의 조합을 특징으로합니다. "제트 '는 공기 와 스크러빙" 제트' 의 흐름 을 생성 하여 표면 을 향해 밀어내는 반면, "링싱 '장치 는 긁힌 입자 들 을 씻어 낸다. 이 장치는 100W 팬으로 구동되며 다단 여과 장치를 사용하여 입자를 포획합니다. 필터는 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터, 탄소 필터 및 보조 필터로 구성됩니다. HEPA 필터는 직경 0.3 미크론 정도의 작은 입자를 함정 (trap) 하는 반면, 탄소 필터는 스크러빙 과정에서 생성 된 독성 연기를 함정 (trap) 합니다. 보조 필터는 HEPA 및 탄소 필터에 의해 제거 된 입자를 수집합니다. DAINIPPON SS 3000을 사용하면 스크러빙 제트기의 강도를 조정하여 안전하고 철저한 스크러빙 프로세스를 보장 할 수 있습니다. 또한 광학 위치 감지 및 피드백 제어 머신 (feedback control machine) 을 사용하여 정확한 입자 제거 및 정확성을 보장합니다. 또한 장치는 자동 작동을 위해 설계되었습니다. 최대 8 시간 동안 자율적으로 작동하도록 프로그래밍 할 수 있으며, 스크러빙 (scrubbing) 이 완료된 후 꺼질 수 있습니다. 즉, 사용자가 장치를 끄는 것을 잊을 수 있는 경우에도 입자를 완전히 제거해야 합니다 (예: 이 경우). DNS/DAINIPPON SS 3000은 웨이퍼 및 마스크에서 입자를 제거하기위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 기계적· 화학적 스크러빙 (scrubbing) 기술의 조합은 효과적이고 철저한 청소 (cleaning) 과정을 보장하는 반면, 자율적 운영 (autonomous operation) 을 통해 사용자가 자신감과 마음의 평화를 가지고 업무를 수행할 수 있다.