판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000 #293594788

DNS / DAINIPPON SS-3000
ID: 293594788
Scrubber, 12" Arm: KAWASAKI Brush.
DNS/DAINIPPON SS-3000 Wafer 및 Mask Scrubber는 Wafer와 Photomask를 효율적이고 효과적으로 청소 및 스크러빙해야 할 필요성을 충족하도록 특별히 설계된 자동 스크러빙 장비입니다. 이 시스템은 자동화되어 있어 작업 스크러빙 (scrubbing) 을 빠르고 효율적으로 처리합니다. 기구 에는 "와퍼 '," 마스크' 또는 기타 기판 이 놓여져 있는 작업 "테이블 '과" 스크러버' 안 과 밖 으로 기판 을 이동 시키는 "컨베이어 '장치" 어셈블리' 가 들어 있다. 이를 통해 배치 공정에서 여러 웨이퍼와 최대 50 개의 웨이퍼를 문지르게됩니다. 스크러버에는 스크러빙 스테이션, 두 번째 스크러빙 스테이션, 퍼징 아웃 스테이션 (purging-out station) 및 블로우 오프 스테이션 (blow-off station) 을 포함한 여러 스크럽 존이 있습니다. 스크러브 러티 스테이션 (scrubbility station) 은 연마제 스크러빙 패드와 함께 에어로졸 및 스크러빙 솔루션 사용을 통해 스크러빙 효율성을 높입니다. 두 번째 스크러빙 스테이션은 회전 브러쉬를 사용하여 웨이퍼 또는 마스크에서 입자를 청소합니다. 퍼깅 아웃 스테이션 (purging-out station) 은 고압 제트기를 사용하여 블라인드 홀 (blind-holes) 과 불규칙한 틈새에서 갇힌 입자를 제거하고, 블로우 오프 스테이션은 고압 에어 나이프를 사용하여 입자를 제거합니다. 안전 및 품질 문제를 위해 기계에는 문의 안전 잠금 장치 (Safety Locking Mechanism), 핫 탱크 경보 (Hot Tank Alarm) 및 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button) 을 포함한 여러 안전 버퍼가 포함되어 있습니다. 게다가, 기계는 질소 유체 회로로 자체 모니터링 (self-monitoring) 되는데, 이를 통해 오작동을 신속하게 감지하고 기기를 적시에 차단하여 반응 할 수 있습니다. 이 도구에는 자동 차단 장치, 자동 클리닝 솔루션 흐름 조절기, 자동 스크러빙 속도 조절기, 자동 스프레이 스테이션 타이머 (Automatic Spray Station Timer) 와 같은 여러 내장 정밀 기계가 있습니다. 또한, 스크러버에는 자동 청소 기능이 포함되어 스크러빙 패드를 자동으로 청소합니다. 에셋에는 최대 사용량을 위해 사용자가 원하는 주기와 매개변수로 스크러버를 프로그래밍할 수 있는 핸디 (Handy) 정리 (Clean) 제어판이 있습니다. 사용자에게 친숙한 제어판과 다양한 디스플레이 메시지가 전체 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 안내합니다. 이 모델에는 스테레오 (stereo) 및 디스플레이 화면 (display screen) 이 있으며, 이를 통해 그래픽 및 오디오를 사용하여 스크러빙 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. DNS SS3000 Wafer 및 Mask Scrubber는 최적의 결과를 통해 Wafer 및 Photomask를 처리하도록 설계된 안정적이고 효율적인 도구입니다. "와퍼 '와" 포토마스크' 를 정밀도 와 속도 로 청소 하고 문지르어야 하는 사용자 들 에게 이상적 이다. DAINIPPON SS 3000은 사용자 친화적인 제어판, 최적화된 스크러빙 프로세스 및 자동 안전 측정 (Safety Measures) 을 통해 품질 결과를 안전하고 신속하게 보장합니다.
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