판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9379828

DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber는 반도체 산업을 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 장비입니다. 최대 30 wafers/sec의 놀라운 처리 속도로 DNS SS-3000-AR은 거의 모든 유형의 스크러빙 작업을 처리할 수 있으며, 높은 수준의 일관성과 정확성을 제공합니다. 이 시스템에는 풀 사이즈 마이크로 스크러버 (micro scrubber) 가 장착 된 정교한 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있어 최소한의 운영자 개입으로 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 효율적으로 제거합니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 고객의 구체적인 요구에 따라 사용자 정의 (custom) 구성과 적응이 가능합니다. 스크러빙 암 (scrubbing arm) 은 강력한 스크러빙 헤드를 특징으로하며, 웨이퍼 표면에서 먼지 입자와 다른 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 머리는 2 개의 축으로 움직이도록 설계되었으며, 다른 웨이퍼 크기에 맞게 쉽게 조정 할 수 있습니다. 스크러빙 암 (scrubbing arm) 은 정확한 위치 지정 및 오염 물질 제거를 위해 광학 탐지기와 결합됩니다. 웨이퍼 (wafer) 의 클리닝 프로세스는 고급 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 와 도구의 고유 한 멀티 스테이지 클리닝 사이클 (multi-stage cleaning cycle) 의 조합을 통해 달성됩니다. 다단계 사이클은 프리 린싱 프로세스, 스크러빙 프로세스, 에칭 프로세스, 최종 린싱 프로세스 및 건조 프로세스로 구성됩니다. 또한 DAINIPPON SS 3000 AR (DAINIPPON SS 3000 AR) 에는 정교한 마스크 스크러빙 에셋이 있으며, 에칭 프로세스 동안 마스크에 침착 된 입자와 오염 물질을 효율적으로 제거하기 위해 강력한 디스크 스크러버가 장착되어 있습니다. 이 모델은 스크러버 (scrubber) 플랫폼에서 마스크 배치 및 제거를위한 자동 리프팅 장비를 제공합니다. 또한 DNS SS 3000 AR 에는 운영 중 항상 운영자가 보호되도록 하는 최신 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. 모든 구성 요소는 장기적으로 사용할 수 있도록 설계된 견고하고 안정적인 프레임 (frame) 내에 보관됩니다. DAINIPPON SS-3000-AR 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 현대 반도체 업계에서 웨이퍼와 마스크를 정확하고 효율적으로 스크러빙하기에 적합한 시스템입니다. 강력한 스크러빙 헤드, 멀티 스테이지 사이클, 자동 마스크 스크러빙 유닛, 고급 안전 기능을 갖춘 SS-3000-AR 은 산업 청소 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.