판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9379760
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DNS/DAINIPPON SS-3000-AR 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼와 마스크를 청소하고 유지하는 데 사용되는 도구입니다. 효율성이 높도록 설계되었으며 운영자 개입이 거의 필요하지 않습니다. DNS SS-3000-AR 은 다양한 반도체 소재 및 프로세스에 대해 정확하게 구성될 수 있는 기능으로, 사용자에게 안정성과 반복성을 제공합니다. DAINIPPON SS 3000 AR은 회전 브러싱 장치를 사용하여 웨이퍼 및 마스크 표면을 스크러브합니다. 이 장치는 다중 축 동작 컨트롤러 (multi-axis motion controller) 로 구동되며 브러시 속도가 최대 25,000 rpm으로 예정되어 있으므로 원치 않는 입자 침전물을 빠르고 철저하게 제거 할 수 있습니다. 이 장치에는 브러싱 (brushing) 프로세스를 제어하는 소프트웨어 제품군도 함께 제공되며, 운영자는 클리닝 프로세스를 모니터링하고, 요구 사항에 가장 적합한 설정을 수정할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한" 웨이퍼' 나 "마스크 '를 사용 하는 데 의도치 않은 손상 이 없도록 여러 가지 안전 기능 을 제공 한다. 브러시 (brush) 또는 이물질 (debris chamber) 에 이물질이 감지되면 브러시 차단 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 전체 장치는 청소에 사용되는 에찬트 (etchant) 에 내성을 갖도록 구성되어, 결선에 대한 추가 보호 기능을 제공합니다. DNS/DAINIPPON SS 3000 AR 은 다양한 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 유지 보수가 적도록 설계되었습니다. 고유한 활성 브러쉬 클리닝 시스템은 브러쉬 단위 (brush unit) 를 유지하여 반복 클리닝 작업에 최적의 성능을 보장합니다. 또한, 매달리지 않는 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 손상을 예방하는 데 도움이됩니다. DNS에 따르면, 스크러버는 55 와트의 낮은 에너지 사용을 소비하여 경제적인 솔루션을 제공합니다. 전반적으로 DNS SS 3000 AR 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 제조 공정에 강력하고 안정적인 도구입니다. "스크러버 '는 정확 한 제어 기능 과 안전 기능 을 지닌" 스크러버' 로서 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 최소화 하여 청소 할 필요 가 있는 모든 생산 시설 에 적합 한 선택 이다.
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