판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #9355472

DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer & Mask Scrubber는 반도체 및 마이크로 전자 장비를 관리하기 위해 설계된 안정적이고 효율적인 심층 청소 장비입니다. 이 스크러버는 웨이퍼 및 마스크에서 입자, 잔류 물, 흙을 제거하기위한 자동 및 수동 스크러빙 솔루션을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 고급 미세 입자 제거 메커니즘이 장착되어 표면에 포함 된 가장 작은 입자를 제거 할 수 있습니다. 스크러버는 최대 5 개의 6 인치 웨이퍼 카세트 또는 200 개의 4 인치 웨이퍼 카세트를 보관하기에 적합한 대형 워크 탱크로 설계되었습니다. 모든 손상으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해, 스크러버에는 웨이퍼 및 마스크 표면을 유연하게 지원하는 홀더 핑거 (holder-finger) 메커니즘이 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 2 단계 진공 필터와 제어되고 효율적이며 안전한 웨이퍼 청소를위한 액체 급지 밸브가 내장되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 의 작동 메커니즘에는 전동식 스테인리스 브러시 (stainless brush) 가 포함되어 있으며, 이 브러시는 웨이퍼 및 마스크에서 먼지, 입자 및 이물질을 제거하기위한 모양입니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 웨이퍼와 마스크에서 초미세 입자를 제거하는 단일 먼지 종이 청소 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 뛰어난 청소 성능을 보장하는 강력한 원심 링 장치를 갖추고 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 고급 모니터링 머신 (advanced monitoring machine) 이 장착되어 있어 높은 수준의 프로세스 제어 및 다양한 매개변수 모니터링을 지원합니다. 또한 프로세스 상태 및 제품 품질을 실시간으로 보고할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 편리한 장비 제어를 위해 이더넷 연결을 지원합니다. 스크러버 (scrubber) 는 광범위한 통신 인터페이스를 통해 독립형으로 사용하거나 장비와 통합될 수 있습니다. 스크러버에는 초당 최대 3 개의 웨이퍼/마스크를 처리 할 수있는 최대 기능이 있습니다. 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 생산 공정에서 최고 효율성, 정확성, 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다.