판매용 중고 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293624557

ID: 293624557
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Wafer scrubber, 12" Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2007 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-AR은 고밀도 청소를 위해 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 제품은 다양한 고급 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 사진 마스크 (photo-mask) 를 청소하도록 설계되었으며, 다양한 전문 프로세스를 수행할 수 있습니다. 스크러버에는 편리한 작동 기능을 갖춘 통합 청소 조작기가 제공됩니다. 조작 장치 는 "와퍼 '를 집어 옮기는 데 사용 할 수 있는" 프로그램' 가능 리프트 암 '과 "웨이퍼' 에 정밀 한 양 의 청소" 솔루션 '을 전달 할 수 있는 고급 "스프레이' 장비 로 구성 되어 있다. 조종사 는 또한 "웨이퍼 '를 제대로 청소 하는 데 도움 이 되는" 웨이퍼' 고장 탐지 장치 를 갖추고 있다. 스크러버는 스크러빙, 연마, 에칭, 핫 스토리지 등 웨이퍼 및 마스크에서 여러 작업을 수행 할 수 있습니다. 각 프로세스에 대해 고급 조작 장치 (Manipulation Unit) 와 다양한 특수 스톤 (Stone) 및 클리닝 솔루션을 결합하여 매우 안정적이고 정밀한 클리닝 성능을 제공합니다. 통합 EDX (energy dispersive X-ray) 분석 머신을 사용하면 클리닝 프로세스 전, 중, 후에 웨이퍼 또는 마스크 상태를 종합적으로 평가할 수 있습니다. 또한, 자동화된 도구를 사용하면 각 프로세스에 대해 사용자 정의 클리닝 프로파일을 프로그래밍할 수 있습니다. "스크러버 '는 먼지 와 입자 없는 환경 을 제공 하는 산업" 디자인' 을 갖춘 견고 한 경우 에 들어 있다. 인클로저에는 온도와 습도를 최적의 수준으로 유지하기 위해 통합 환기 자산 (Integrated Ventilation Asset) 이 장착되어 있습니다. 또한, 기계에는 조절 가능한 청소 압력 모델 (cleaning pressure model) 과 자동 진단 기능 (automatic diagnostics features) 이 있어 항상 최고 수준의 효율로 작동하는지 확인합니다. 이 장비 는 또한, 운전자 들 이 위험 한 물질 과 접촉 하지 않도록 보호 하는 데 도움 이 되는, 여러 가지 안전 조치 를 갖추고 있다. 스크러버 (scrubber) 에는 최소한의 유지 보수가 필요하며, 처리되는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크에 관계없이 일관된 수준의 결과를 전달하도록 설계되었습니다.
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