판매용 중고 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293596480

DNS/DAINIPPON SR-3000은 반도체 제작 및 연구 응용을 위해 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 및 마스크 관련 프로세스의 개발 및 테스트를 위해 신뢰할 수 있는 고성능 플랫폼을 제공합니다. DNS SR-3000 은 직경 300mm 까지 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 스크러빙 (scrubbing) 결과를 최적으로 제공하기 위해 독립적으로 구성할 수 있는 여러 개의 스크러빙 헤드가 장착되어 있습니다. 이 장비는 컴퓨터 제어 프로그래밍 가능한 스크러빙 헤드와 함께 완전히 자동화 된 스크러빙 프로세스를 갖추고 있습니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 초음파 청소 기술 을 온전 히 이용 하여 "웨이퍼 '의 표면 이나 오염 물질 의 가면 을 철저 히 청소 한다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 회전 디스크에 장착 된 2 개의 다결정 다이아몬드 스크러빙 팁으로 구성되며, 팁은 표면적뿐만 아니라 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 가장자리를 청소하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 또는 마스크는 린스-드라이-린스-드라이 서열 (rinse-dry-rinse-dry sequence) 로 청소되어 표면에서 먼지와 오염 물질을 제거하고 공정의 품질을 향상시킵니다. DAINIPPON SR-3000은 또한 안정적이고 효율적인 청소 결과를 보장하기 위해 핫 (hot) 과 콜드 (cold) 의 두 가지 수원을 사용하는 고정밀 청소 시스템을 갖추고 있습니다. SR-3000 의 클리닝 소프트웨어 (cleaning software) 는 wafer 또는 mask 를 처리 플랫폼에 로드하기 전에 완전히 청소합니다. 이 장치에는 자동 웨이퍼 로딩, 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 검사 등의 추가 기능도 장착할 수 있습니다. 이러한 기능은 오염의 가능성을 없애고, 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 방식으로 처리하도록 설계되었습니다. DNS/DAINIPPON SR-3000은 모든 유형의 반도체 생산 환경에 적응할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 원하는 프로세스에 따라 구성을 최적화할 수 있는 '프로세스 지향 제어 시스템 (process-oriented control machine)' 이 포함됩니다. 따라서 DNS SR-3000 은 대용량 운영 환경에 특히 적합합니다. 결론적으로, DAINIPPON SR-3000 Wafer 및 Mask Scrubber는 반도체 제작 프로세스에 사용할 웨이퍼 및 마스크를 효율적이고 안정적으로 청소하도록 설계된 도구입니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 및 관련 기능은 신뢰성과 반복성을 저해하지 않고 최적의 클리닝 성능을 보장하도록 설계되었으며, 스크러빙 (scrubbing) 프로세스는 어떤 유형의 프로덕션 환경에도 통합될 수 있을 정도로 간단합니다.