판매용 중고 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293591975

DNS/DAINIPPON SR-3000은 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고급 디자인은 2 개의 독립적 인 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 사용하여 균일하고 일관된 클린 (clean) 을 만들면서 유체 역학적 안정성이 비교 가능한 시스템보다 향상됩니다. 또한, 이 장비는 주기당 여러 작업 주기를 허용하며, 처리량을 더욱 최적화합니다. DNS SR-3000 은 정밀도 기반 알고리즘을 활용하여 처리 시간을 최적화하고 정합성이 유지되는 2 단계 세척 시스템으로 구동됩니다. 대용량 후드 탱크는 환경 오염의 위험없이 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 청소액 (cleaning fluid) 에 완전히 몰입시킵니다. 이 장치는 여러 개의 박막 재료 (Thin Film Material) 에 사용되므로 수동 로드 및 언로드가 필요하지 않습니다. DAINIPPON SR-3000은 수력 및 공기 제트기를 모두 사용하여 뛰어난 스크러빙 성능을 제공합니다. "하이드로 제트 '는 수직 및 수평" 제팅' 작용 을 모두 하여 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 각 면 이 동일 하게 문지르도록 한다. 공기 "제트 '는 표면 손상 과 긁힘 의 위험 을 최소화 하는 부드러운" 스크러빙' 작용 을 한다. 고객의 요구 사항을 충족하기 위해, 시스템은 사전 정의된 다양한 스크러빙 프로파일 (scrubbing profile) 로 프로그래밍되며, 사용자가 스크러빙 매개변수와 강도를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. SR-3000에는 고급 맞춤형 여과 도구도 포함되어 있습니다. 이 에셋은 사용자가 입자 모니터를 사용하여 가스 통풍, 흡착, 필터링 등의 선택 가능한 옵션을 제공합니다. 입자 모니터에는 실시간 데이터 (real-time data) 와 기간별 데이터 (history data) 가 모두 포함되어 있어 사용자는 프로세스의 입자 수준을 신속하게 평가할 수 있으며, 시간이 지남에 따라 출력 정결 상태를 추적할 수 있습니다. DNS/DAINIPPON SR-3000 은 직관적인 소프트웨어를 통합하여, 사용자가 쉽게 시스템 매개변수를 빠르게 프로그래밍하고 조정할 수 있게 해 줍니다. 이 소프트웨어는 "레이어 기반" 프로그래밍 구조를 용이하게 하며, 이를 통해 사용자는 속도, 가속과 같은 스크러빙 매개변수와 여러 프로세스 주기 (예: 린스 및 PU 린스) 를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 유지 관리 및 작동을 용이하게하기 위해 다양한 고급 진단 기능을 제공하는 EM 제어 장치 (EM Control Unit) 가 장착되어 있습니다. DNS SR-3000 은 우수한 웨이퍼 및 마스크 클리닝을 위해 설계된 안정적이고 고품질 모델입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 직관적인 인터페이스와, 철저하고 일관된 청소를 제공할 수 있는 신뢰성 있는 고급 기술을 갖추고 있습니다. 모든 반도체 업계에서 처리량을 최적화하고 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 (Mask) 클리닝 프로세스를 개선하려는 완벽한 선택입니다.