판매용 중고 DNS / DAINIPPON SR-3000-AV #9278970
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DNS/DAINIPPON SR-3000-AV는 웨이퍼 및 마스크 표면을 청소하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 놀라운 기계 는 습기 와 건조 한 자동화 의 독특 한 조합 을 사용 하여, 요구 되는 청소 결과 를 제공 한다. DNS SR-3000-AV 는 non-contact, automated wafer-etching 이라는 프로세스를 활용하여 웨이퍼 표면에서 깨끗하고 선명한 edge-profiling 결과를 얻습니다. 세밀하게 조율된 고출력 플라즈마 에칭 빔 (plasma-etching beam) 을 사용하여 웨이퍼에 접촉하지 않고 불순물을 탈환합니다. 매우 정밀 한 이 장비 는 정확성 과 반복성 을 유지 하는 데 도움 이 되며, "웨이퍼 '표면 에 최고 수준 의 청결 함 을 전달 한다. 마스크 에칭 및 드라이 스크러빙의 도전을 해결하기 위해 DAINIPPON SR-3000-AV는 수동 및 자동 스크러빙 기능을 모두 갖춘 혁신적인 시스템을 사용합니다. 수동 스크러빙 (scrubbing) 을 통해, 매우 정교한 브러쉬 헤드 도구는 브러시 헤드 도구가 청소 과정을 시작하기 전에 마스크 표면에 매우 미세한 에어로졸 윤활제 안개 (mist of aerosol lubricant) 를 적용합니다. 매우 부드럽고 효과적이기 위해 제작 된 수동 스크러빙 장치 (Manual Scrubbing Unit) 는 마스크 표면에서 오염 물질을 제거하는 데 사용되는 드라이 스크러빙 머신만큼 강력합니다. 기존의 드라이 스크러빙은 SR-3000-AV에서도 사용할 수 있습니다. 수동 스크러빙 도구 (manual scrubbing tool) 보다 훨씬 강력하도록 설계된 드라이 스크러빙 에셋 (dry-scrubbing asset) 은 윤활제를 동시에 적용하면서 마스크 표면에서 오염 물질을 폭파시키는 고압 에어 제트를 사용합니다. 이 방법 은 또한 "웨이퍼 '표면 에서 입자 들 을 완전 히 깨끗 하게 하고 제거 할 수 있으며, 여러 가지 여러 가지 표면 에서 작업 한다. DNS/DAINIPPON SR-3000-AV는 또한 환경 친화적 인 보너스를 제공합니다. 이 기계는 공기 정화 챔버 (air-purifried chamber) 내에 완전히 밀폐되어 있습니다. 즉, 에칭 및 드라이 스크러빙 과정에서 공기 침해가 급격히 감소합니다. 이 동봉 된 "모델 '은 위험 한 오염 물질 이" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 접촉 하지 못하게 하여 질 좋은 표준 과 안전 규정 을 확인 하도록 한다. 요컨대, DNS SR-3000-AV는 정말 놀라운 기계입니다. 웨이퍼 에칭, 수동 스크러빙, 드라이 스크러빙 기술의 조합은 다른 웨이퍼 에칭 및 스크러빙 솔루션보다 우위를 차지합니다. 그것은 단단한 관용 웨이퍼-에칭 (wafer-etching) 및 스크러빙 (scrubbing) 요구에 완벽하며 웨이퍼 및 마스크 표면에 업계를 선도하는 깨끗함을 제공합니다.
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