판매용 중고 DNS / DAINIPPON HMS-TVM-300 #9159859

DNS/DAINIPPON HMS-TVM-300은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 최대 500mm 크기의 기판, 마스크 및 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어할 수있는 고급 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 스크러버는 반도체 프로세스에 적합한 몇 가지 기능을 제공합니다. 스크러버에는 최대 300mm 웨이퍼를 지원할 수있는 평면 플랫폼이 있습니다. 플랫 워크에는 긁힘과 마모로부터 보호하기 위해 특별한 코팅이 있습니다. 스크러버는 또한 최대 200 LPH의 높은 유속과 50kPa의 저압 (low running pressure) 을 가지고 있습니다. DNS HMS-TVM-300은 스크러빙 외에도 황산, 질산, 플루오린산 및 기타 표준 반도체 에친트와 호환되는 건식 에칭 공정을 가지고 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 포토리스 스트 (photoresist) 플랫폼과 최대 100mm 크기의 웨이퍼 8 개를 지원할 수있는 스피너를 처리하기 위해 포토리스 스트 (photoresist) 플랫폼이 장착되어 있습니다. 안전을 위해 스크러버에는 운영자 보호 케이스, 자동 차단 및 경고 시스템, 에너지 흡수 스프링 로딩 플랫폼 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 정적 방출 (static dissipation) 및 다른 시스템 컴포넌트의 적절한 작동을 포함한 표준 안전 프로토콜과도 호환됩니다. DAINIPPON HMS-TVM-300 은 소형 설치 공간으로 설계되어 다양한 작업 환경에 설치하기에 적합합니다. 스크러버 (scrubber) 는 기존 반도체 생산 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었으며 재료 전달 시스템 (material transfer system) 및 CMP 연마 시스템 (CMP polishing system) 과 같은 다른 시스템과 인터페이스 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 높은 처리량과 낮은 유지 관리 비용을 제공하여 많은 반도체 프로세스에 비용 효율적인 솔루션입니다. 고급 프로그래밍 가능 컨트롤러 (Advanced Programmable Controller) 는 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어하여 일관되게 고품질 스크러빙 결과를 제공합니다. "스크러버 '는 또한 적응력 이 높으며, 여러 가지 재료 와 기판 을 처리 하는 데 사용 될 수 있다.