판매용 중고 DMS PDCLN #293608705

DMS PDCLN
ID: 293608705
Pre-depo cleaner Tact time: 40 s Working area: 2,200 mm x 2,500 mm.
DMS PDCLN은 DMS (Disruptive Materials Solutions) 에서 개발 한 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 웨이퍼 기판을 손상시키지 않고 원치 않는 입자를 제거하도록 설계되었습니다. 두 가지 고유 한 구성 요소 - 스크럽 헤드 (scrub head) 와 클리닝 솔루션 - 로 구성된 클리닝 시스템을 사용합니다. 스크럽 헤드는 가변 제트 홀 (jet holes), 고정 제트 헤드 (jet head) 및 가변 제트 헤드 (jet head) 가있는 정밀 설계 구조로 구성됩니다. 이를 통해 입자를 0.1m (마스크 청소에 필요한 0.004) 만큼 정확하게 표적화 할 수 있습니다. 제트 (jet) 는 고출력 공기 흐름으로 구동되며, 이는 기판 표면에서 입자를 분리하는 데 도움이됩니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '에는 자동 조정 기능 이 갖추어져 있어, 스크러빙 힘 을 조정 할 수 있으므로, 최적 인 청소 효과 를 얻는 데 도움 이 된다. PDCLN에 사용 된 클리닝 솔루션은 효율적이고 효과적인 입자 제거를 위해 특별히 공식화됩니다. pH 균형 액체에는 계면 활성제, 유화제 및 세제가 포함되어 있으며, 모두 웨이퍼에 손상을 입히지 않고 표면 장력을 줄이고 불순물을 용해하도록 설계되었습니다. 또한, 이 솔루션은 다공성 물질뿐만 아니라 다공성 (non-다공성) 을 포함한 다양한 기질과 호환됩니다. 고급 클리닝 기술 외에도 DMS PDCLN 은 정기 유지 보수, 사용자 정의 (user-defined) 유지 보수, 오류 감지 진단 등 포괄적인 유지 보수 프로토콜을 제공합니다. 유지 보수 작업은 다운타임을 줄이고, 성능을 향상시키고, 기계의 수명을 늘리고, 에너지 소비를 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로, PDCLN은 효율성을 극대화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 정밀 엔지니어링 (Precision Engineering) 은 파편의 정확한 제거, 자동 조정 기능 (Automated Adjustment Feature) 은 탁월한 클리닝 결과를 달성하는 데 도움이 되며, 종합적인 유지 관리 프로토콜은 최적의 성능을 보장합니다. 결과적으로, 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 클리너를 찾는 조직에 적합한 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다