판매용 중고 DMS M600 #9316329

DMS M600 (DMS M600) 은 고급 청소 및 세척 기술을 사용하여 반도체 제품의 표면에서 오염을 제거하는 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템입니다. 스크러버 (scrubber) 는 고객의 특정한 요구에 맞게 조정할 수있는 일련의 스크러빙 (scrubbing) 및 린싱 (rinsing) 단계로 구성됩니다. 반도체 제품 (예: 베어 실리콘 웨이퍼, 마스크, 스테퍼, 도량형 도구 등) 의 표면에서 공정 잔류 물, 오염 물질 및 잔해를 제거하도록 설계되었습니다. DMS M 600은 지능형 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 통합하여 다양한 재료 및 응용 프로그램에 대한 스크러빙 프로세스를 최적화합니다. 머리는 서보 모터 (servo motor) 에 장착되어 있으며 위아래로, 나란히 움직일 수 있습니다. 이를 통해 청소 과정에서 스크러빙 헤드가 적절한 스크러빙 미디어를 균등하게 분산시킬 수 있습니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 에는 조정 가능한 압력 설정이 있으며, 청소 중인 재료에 따라 설정할 수 있습니다. M600에 사용되는 스크러빙 미디어는 발포가 적고, 마모가 없으며, 위험하지 않습니다. 도달 하기 어려운 표면에서 입자, 오염 물질, 여과 잔기를 제거하기 위해 특별히 공식화되었으며, 효율성을 향상시키고 비용을 줄이기 위해 재활용 할 수있다. "스크러버 '에는 또한" 린스' 공정 중 에 최적 의 양 의 물 을 사용 하고, 비용 을 더 절감 하기 위하여 조정 할 수 있는 물 관리 "시스템 '이 포함 되어 있다. M 600 에는 또한 건조 과정 이 포함 되는데, 이 과정 에는 청소 및 세척 공정 이 완성 된 후 에 지표 에서 모든 수분 을 효과적 으로 제거 하기 위한 질소 "시스템 '이 포함 된다. 스크러버 (scrubber) 는 산업용으로 제작되었으며 내구성을 극대화하기 위해 견고한 구조를 갖추고 있습니다. DMS M600 은 최대 100 개의 평면 (flat) 표면을 스크러빙할 수 있으며, 클린 룸 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. DMS M 600 은 다양한 유형의 반도체 제품에서 오염을 제거하는 데 매우 효율적이고 비용 효율적인 방법입니다. 간단 한 수술 과 신속 한 청소 와 건조 시간 이 특징 이므로, 많은 "반도체 '생산 시설 에 이상적 인 선택 이 된다.