판매용 중고 DMS M300 #9262351

DMS M300 (Wafer and Mask Scrubber) 은 Wafer 및 Mask 스크러버로, 청소 환경에 신뢰할 수 있고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 이 제품은 효율적이고, 유연하며, 안전한 운영을 위해 맞춤형으로 구성된 모든 기능을 통해 완벽한 프로세스 제어 및 자동화를 제공하도록 설계되었습니다. M300은 스크러빙 기술을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 철저히 청소합니다. 0.1 미크론 노즐, 0.2 미크론 노즐 및 2 단계 필터 장비로 구성된 다단 스크러버 헤드가 장착되어 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 시스템은 모든 웨이퍼와 마스크에서 균일하고 일관된 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 추가 0.05 미크론 에어/에어 스크러버 (air/air scrubber) 도 클린 룸 안전을 보장하기 위해 장치에 통합되었습니다. 또한 DMS M300 은 내장 프로세스 컨트롤러로, 사용자가 스크러빙 프로세스에 대한 정확한 매개 변수 설정을 구성할 수 있습니다. 스크러빙 압력, 수온, 유속, 웨이퍼 이동 속도를 조정하도록 설정을 지정할 수 있습니다. 편의성을 높이기 위해, 이 기계는 또한 조정 가능한 타이머 설정 (adjustable timer settings) 과 자체 테스트 (self-test) 기능을 갖추고 있어 공구가 항상 최적으로 실행됩니다. M300은 최대한의 안전과 청결을 위해 설계되었습니다. 스크러버에는 외국 입자의 손상을 방지하기위한 안티 블록 자산이 있습니다. 또한 청소 과정에서 생성 된 폐기물을 제거하기위한 자체 재설정 스크랩 (self-resetting scrap) 모델이 있습니다. 청소 압력과 접촉하는 모든 장비는 316 개의 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 부식 내성이 뛰어납니다. 마지막으로 DMS M300 은 환경에 미치는 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. 시스템의 모든 부분은 에너지 효율성을 위해 설계되었으며, 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 필터는 자가 청소 (self-cleaning) 방식이며, 기계는 폐기물 출력을 최소화하고 전력 소비량을 줄이도록 설계되었습니다. 전반적으로, M300은 안정적이고, 반복 가능한 성능과, 최대 청소실 안전을 제공하도록 설계되었습니다. 다용도 및 신뢰할 수 있는 툴로서, 모든 Cleanroom 환경에서 최적의 결과를 지속적으로 제공할 수 있습니다.