판매용 중고 DMS M300 #293637222

DMS M300
ID: 293637222
빈티지: 2015
Box cleaner Chamber 2015 vintage.
DMS M300은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 등 여러 가지 표면 을 청소 하고 위생 하는 데 사용 할 수 있는 다목적 장치 이다. M300은 사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 손쉽게 작동하고 유연하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 를 사용하여 사용자가 프로세스 요구에 맞게 구성을 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 조절 가능한 스크러빙 압력과 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 수용 할 수있는 기능이 있습니다. 스크러버에는 깨끗하고, 부드럽고, 연마주기를 포함하여 여러 가지 모드를 선택할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 전력 소비량과 소음 수준을 낮추고 유지 관리 요건을 줄이는 에너지 효율적인 모터로 구동됩니다. 청소 용액은 물 기반이며, 이는 용매 또는 화학 물질의 필요성을 제거합니다. 조정 가능한 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 이 장착되어 있어 유연한 설정과 손쉬운 웨이퍼 로드 및 언로드가 가능합니다. 스크러빙 압력 (scrubbing pressure) 과 스크러빙 흐름 (scrubbing flow) 도 조정이 가능하여 프로세스에 대한 더 큰 제어가 가능합니다. DMS M300 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 자동화된 생산 라인에 사용하도록 설계되어 운영 관리자가 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 로봇과 상호 작용하여 프로세스를 추가로 자동화 할 수 있습니다. M300은 온도가 낮은 저유지 설계 (low-temperature, low-maintenance design) 를 통해 안전에 대한 모든 환경 규정 및 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 모든 성분은 부식적이지 않은 물질로 구성되며, 가혹한 화학 용액에 노출 될 수 있습니다. DMS M300 은 다양한 반도체 제작 공정 (fabrication process) 에서 사용하기에 적합한 안정적이고 다양한 wafer 및 mask 스크러버입니다. 직관적인 컨트롤, 에너지 효율적인 디자인, 유연한 구성을 통해 자동화된 생산 라인에 적합하며, 최고 품질의 최종 제품을 생산하는 데 필요한 유연성과 정밀도를 제공합니다.
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