판매용 중고 DISCO DFC 1460 #9382805

DISCO DFC 1460은 실리콘 웨이퍼 생산을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 머신입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 미세 입자 와 표면 오염 을 제거 하는 데 사용 된다. 이 기계는 균질하고 지속적인 청소 프로세스를 보장하도록 최적화 된 고압 린스 제트 (Rinse Jet) 와 2 개의 스크러빙 헤드 (Scrubbing Head) 로 구동됩니다. 청소 과정은 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 에서 이루어지며, 여기서 웨이퍼와 마스크는 먼저 화학적 사전 방출 과정을 거치고, 스크럽 전 린스 (pre-scrub rinse) 와 고압 스크럽을 받는다. 이 청소 과정 중 에, "챔버 '는 물 로 가득 차 화학적 으로 처리 되어 표면 입자 와 오염 물질 을 쉽게 제거 할 수 있게 된다. 스크러빙 헤드는 컨베이어와 무관하며, 무료 스크럽 모션을 허용하여 우수한 클리닝 (cleaning) 을 보장합니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 긴 시간에 걸쳐 높은 클리닝 속도와 안정적인 클리닝 성능을 제공하도록 최적화되었습니다. DFC 1460에는 프로덕션 용도에 적합한 많은 기능이 있습니다. 효율적 인 설계 는 최소 의 물 과 화학적 소비 를 보장 해 주며, 이것 은 유지비 를 줄여 준다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 내부 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있도록 내장된 클리닝 스테이션이 있습니다. 안전성 향상을 위해, 기계는 움직이는 부품과 직접 접촉하지 않고 설계되었습니다. 이 장치는 또한 자가 진단 시스템 (Self Diagnosis System) 을 사용하여 운영 장애를 감지하고 잠재적 문제를 경고합니다. DISCO DFC 1460은 신뢰성이 높은 웨이퍼 및 마스크 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 사진 에칭 (photo-etching), CMP (CMP) 및 습식 스크러빙 (Wet Scrubbing) 을 포함한 다양한 웨이퍼 및 마스크 프로세스 응용 프로그램을위한 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 청결 하고, 부드럽고, 효과적 인 청소 과정 을 마련 하여, 최고 의 품질 표준 에 부합 한다.