판매용 중고 DISCO DCS 1460 #9395087

DISCO DCS 1460
ID: 9395087
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 1460은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고급기술을 효율적이고 효율적인 장비로 결합해 "웨이퍼 (wafer) '나" 마스크 (mask)' 를 "초저수량 (water consumption) '으로 정리해 생산성이 높다. 이 시스템은 신뢰성이 높은 상하 (Top and Bottom) 스프레이 장치를 갖추고 있습니다. 여기서 상단의 노즐은 청소 유체를 뿌릴 수 있고 하단 노즐은 음이온 이온화 청소 솔루션을 순환시킵니다. 이 스프레이 기술은 전체 웨이퍼 또는 마스크 표면을 균일 하게 청소합니다. 이 장치는 또한 평평한 표면 클리닝 플레이트 (flat surface cleaning plate), 와퍼 클램핑 환경 (Wafer Clamping Environment) 및 클리닝 모듈에 직접 연결된 마스크 저장 탱크 (Mask Storage Tank) 를 포함한 여러 가지 다른 기능을 자랑합니다. 이를 통해 최소한의 물 소비로 입자 및 유기 잔기를 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 또한 DCS 1460 은 다양한 장비 및 기판에 대해 사용자 지정 (customized) 처리 조건을 제공하고, 클리닝 기능을 더욱 강화할 수 있습니다. "디스코 DCS '1460 에는 직관적 인" 컨트롤 머신' 이 장착 되어 있어서 도구 를 손쉽게 작동 하고 유지 할 수 있다. 또한 유지 관리 보고서 자동 생성 (Auto-Generate Maintenance Report), 대화형 터치스크린 제어 (Interactive Touchscreen Control) 등의 유용한 기능을 통해 손쉽게 작업을 수행할 수 에셋에는 모델 클리닝 프로세스에 대한 지속적인 모니터링을 제공하는 3D 색상 뷰 디스플레이 (3D Color View Display) 도 있습니다. DCS 1460 (DCS 1460) 은 최소 수준의 물 소비로 기판을 청소하도록 설계된 안정적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고급 기능에는 상단 및 하단 스프레이 장치, 플랫 클리닝 플레이트, 와이드 클램핑 환경, 직접 연결 흐름 채널이있는 저장 탱크, 3D 색상 뷰 디스플레이가있는 직관적 인 제어 장비 (CRU) 가 포함됩니다. 사용자에게 친숙한 디자인과 다양한 맞춤형 설정을 갖춘 DISCO DCS 1460 은 탁월한 클리닝 효율성과 높은 생산성을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다