판매용 중고 DISCO DCS 1440 #9253474

ID: 9253474
빈티지: 2010
Automatic cleaning system 2010 vintage.
DISCO DCS 1440은 DISCO Corporation에서 설계 및 제조 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 최첨단 스크러버 (scrubber) 는 와퍼와 마스크에서 얇은 실리콘 및 기타 재료를 깨끗하고 빠르게 스크러빙하도록 설계되었습니다. 이 자동화된 클리닝 머신 (automated cleaning machine) 은 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 의 표면에서 기존의 포토레지스트와 산화물 레이어의 모든 레이어를 제거할 수 있습니다. DCS 1440에는 직경이 최대 12 인치 인 웨이퍼를 수용 할 수있는 2 개의 별도의 스크러빙 챔버가 있습니다. 첫 번째 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 는 photoresist 레이어를 제거하는 데 사용되며, 두 번째 챔버는 웨이퍼나 마스크에서 산화물 레이어를 제거 할 수 있습니다. 두 챔버 모두 동시에 작동하여 빠르고 효율적인 청소 프로세스를 보장합니다. 각 챔버에는 독특한 스크러빙 기술 (scrubbing technology) 이 있으며, 표면 장력과 화학물질의 조합을 사용하여 균일하지 않은 부착 된 층을 제거합니다. DISCO DCS 1440 은 각기 다른 재료 및 레이어 두께에 대해 다양한 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 을 실행하도록 프로그래밍됩니다. 따라서 사용자가 스크러빙 (scrubbing) 을 사용자 정의하고 필요에 맞게 정확한 클리닝 시간을 선택할 수 있습니다. 머신은 또한 클리닝 프로세스 전체에서 스크러빙 매개변수를 자동으로 감지하고 조정합니다. 이 동적 제어는 매번 높은 결과의 품질을 보장합니다. DCS 1440 은 클리닝 기능 이외에도, 운영자를 보호하기 위한 안전 기능이 내장되어 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 프로세스가 제대로 완료되지 않은 경우 자동 종료 시스템 (automatic shut-off system) 과 예상치 못한 이벤트의 경우 긴급 종료 스위치 (emergency shut-off switch) 가 포함됩니다. 이 기계는 또한 부식을 방지하기 위해 내구성 스테인레스 스틸 케이싱으로 제작되었습니다. 이 구조는 기계의 장기적인 신뢰성을 보장합니다. DISCO DCS 1440은 웨이퍼와 마스크의 효율적인 스크러빙을 위해 설계된 전문 클리닝 머신입니다. 이 자동 머신에는 고급 스크러빙 기술 (scrubbing technologies) 과 프로그래밍 가능한 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 이 제공됩니다. 이 기계는 자동 차단 시스템 (automatic shut-off system) 과 같은 안전 기능을 갖추고 있으며 내구성 있는 스테인레스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 으로 건설되어 장기적인 신뢰성을 보장합니다. DCS 1440은 웨이퍼 및 마스크 청소 작업에 이상적인 선택입니다.
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