판매용 중고 DISCO DCS 1440 #9217516

DISCO DCS 1440은 반도체 장치 생산을 돕기 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 하나의 웨이퍼 대기열 (Wafer Queue) 에 여러 개의 웨이퍼와 마스크를 정확하게 배치하고 클리닝할 수 있게 해 주는 자동화된 툴로, 운영 효율성이 향상됩니다. DCS 1440에는 듀얼 척 용량 (dual chuck capacity) 과 4 개의 노즐 스크러빙 헤드 (nozzle scrubbing head) 가있는 자체 중심 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 장착되어 웨이퍼 또는 마스크의 양면을 동시에 청소할 수 있습니다. 자동 스크러빙 헤드 (automated scrubbing head) 컨트롤은 클리닝 프로세스를 정확하게 제어하여 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 모든 부분에 도달하고 청소합니다. 또한, 자동 노즐 (automated nozzle) 은 장치 생산 프로세스의 정확한 요구 사항을 충족시키기 위해 각 클리닝 프로세스에 필요한 양의 유체 (fluid) 만 사용하도록 합니다. 스크러버 (scrubber) 는 손쉬운 로드 및 언로드, 조절 가능한 웨이퍼 크기 설정, 자동 온도 및 습도 보상 (automatic temperature and hidity compensation) 을 위해 이중 U-shelf 디자인으로 설계되었으며, 수많은 다른 기능이 사용자에게 최고의 정확도를 제공합니다. 또한 DISCO DCS 1440 은 LED 표시등 및 열 센서와 함께 잠재적인 장애를 보고하는 자동 자체 점검 시스템을 제공합니다. DCS 1440 은 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 단일 단계 (single-step) 작업에서 완전 자동화 (fully automated) 에 이르기까지 다양한 클리닝 모드에서 작동할 수 있으며, 운영 프로세스의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 또한 이 도구는 안전하고 효율적으로 작동할 수 있도록 다양한 안전 (Safety) 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 장비의 우발적 시작을 방지하는 다양한 센서와 안전 스위치 (Safety Switch) 연동이 포함됩니다. 또한, DISCO DCS 1440 은 사용자 지정 기능이 뛰어나며, 필요에 따라 구성 요소를 추가로 장착할 수 있으므로, 사용자가 고유한 운영 요구에 맞게 스크러버를 조정할 수 있습니다. 이를 통해 운영 확장성을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다. 이 장치는 또한 호스트 (host of connectivity) 옵션을 통해 시스템을 다른 운영 시스템 및 소프트웨어와 통합할 수 있습니다. 결국, DCS 1440은 오늘날의 반도체 장치 제조업체의 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 품질 웨이퍼 (Quality Wafer) 및 마스크 스크러버입니다. 견고한 설계와 자동화된 기능을 통해 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 정확하고 일관되게 청소하여 생산량을 높이고 생산 시간을 단축할 수 있습니다. 다양한 안전 (Safety) 기능, 접속 옵션, 사용자 지정 기능을 통해 운영 프로세스의 유연성과 확장성을 극대화할 수 있습니다.