판매용 중고 DISCO DCS 141 #9411930

DISCO DCS 141 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 반도체 업계에서 웨이퍼 및 마스크에서 다양한 포토 esist 및 잔류 물을 제거하기 위해 사용되는 고효율적이고 효과적인 청소 장치입니다. "스크러버 '는" 다이빙' 과 "스핀 스크러빙 '기술 의 독특 한 조합 을 이용 하여" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 표면 에서 잔류 물 을 빠르고 쉽게 제거 한다. DISCO DCS141 스크러버는 두 가지 주요 구성 요소 (다이빙 암 및 스핀 스크러버) 로 구성됩니다. "다이빙 암 '은" 와퍼' 나 "마스크 '가 맑아지도록 포토레지스트' 를 통하여 빠르고 깨끗 하게 자르도록 설계 되었다. 이 암은 빠르고 정밀한 컷 (cut) 을 만드는 다이아몬드 블레이드 (diamond blade) 세트를 특징으로하며, 컷의 잔류를 쉽게 이해하고 제거 할 수 있도록 분산시킵니다. DCS 141 스크러버의 다른 구성 요소는 스핀 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 강력 한 원심력 을 이용 하여 고속 으로 청소 되는 물품 을 회전 시킨다. 이 로 인해 광저장제 혹은 잔류물 (잔류 물질) 이 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 에서 빠르고 효과적 으로 제거 된다. 이 빌드 업은 별도의 선박에서 수집되어 처분 및 정리가 용이합니다. DCS141 스크러버에는 다양한 유용한 기능도 포함되어 있습니다. 자동 모드와 수동 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 자동 모드에서는 빠르고 쉽게 청소할 수 있습니다. 수동 모드에서는 보다 정밀하고 제어할 수 있습니다. 스크러버에는 타이머 (timer) 가 내장되어 있어 클리닝 시간을 최적으로 제어할 수 있습니다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 온도 및 압력을위한 사용하기 쉬운 게이지가 포함되어 있어 클리닝 매개변수를 최적으로 제어할 수 있습니다. DISCO DCS 141의 필수 부분은 시각 검사 장비입니다. 이 "시스템 '은 청소 하기 전 에" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 시각적 으로 검사 해 볼 수 있으며, 표면 에 있을 수 있는 부스러기 나 오염 물질 을 식별 할 수 있다. 이 장치는 또한 클리닝 진행률 (cleaning progress) 을 모니터링하여 클리닝 프로세스가 매우 효율적이고 효과적인 방식으로 수행되도록 합니다. 전반적으로 DISCO DCS141 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 매우 효과적이고 효율적인 청소 장치입니다. 단속 (dicing) 과 스핀 스크러빙 (spin scrubbing) 기술을 조합하여 잔기와 잔해물을 빠르고 효율적으로 제거 할 수 있으며, 종합적인 시각 검사 기계는 청소 프로세스를 최적으로 제어 할 수 있습니다.