판매용 중고 DISCO DCS 141 #9382803

DISCO DCS 141은 혁신적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 고성능, 신뢰할 수 있는 클리닝 프로세스를 제공합니다. 최대한의 프로세스 유연성, 우수한 오염 및 입자 제거를 위한 고급 모듈식 설계가 특징입니다. DISCO DCS141은 반도체 및 전자 산업에서 까다로운 청소 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. DCS 141은 2 단계 스크러빙 프로세스를 기반으로합니다. 먼저, "브러쉬 '를 사용 하여" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 표면 을 깨끗 이 하여 청소" 에이전트' 의 깊은 침투 와 포괄적 인 표면 청소 를 할 수 있다. 그런 다음, 매우 효과적 인 "마이크로 '연마 장치 를 사용 하여 잔류 한 미립자 물질 을 제거 하고," 스크래치' 나 지표 에 다른 손상 을 입히지 않고 밝고 깨끗 한 "피니시 '를 만든다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 자동 교정 시스템이 있으며, 이를 통해 가해진 압력과 원하는 입자 수준을 정확하게 조정하여 우수한 단기 및 장기 청소 성능을 제공합니다. 스크러버 (Scrubber) 는 인터록 제어기 (Interlock Control Machine) 가 완비된 완전 격납 장치 (Full Containment Unit) 와 같은 향상된 안전 기능으로 제작되었습니다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 시스템 작동을 단순화하는 직관적인 사용자 인터페이스와 모든 프로세스 데이터의 자세한 추적성을 위한 데이터 로깅 (data logging) 툴이 내장되어 있습니다. 위생 요건 에 있어서, "DCS141 '은 가공 재료 와 방 환경 사이 에 접촉 하지 않도록 특별 한" 펌프' 설계 를 제공 한다. 또한 청소 과정에서 사용되는 물뿐만 아니라, 환경에 존재할 수있는 먼지, 보강 (lint) 및 기타 재료를 제거하는 3 단계 여과 자산이 특징입니다. DISCO DCS 141은 또한 다양성을 높이는 다양한 업그레이드 및 옵션을 자랑합니다. 여기에는 가압 청소, 다양한 린스 옵션, 보다 효율적이고 친환경적인 프로세스를 위해 재순환 된 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 포함됩니다. 스크러버에는 더 큰 웨이퍼를 위해 선택적인 탱크 클리닝 및 확장 된 워스 스탠드 길이가 제공됩니다. DISCO DCS141은 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 응용 프로그램을위한 완벽한 솔루션입니다. 반도체· 전자제품 등에 이상적인 솔루션으로, 고급 디자인· 고성능· 우수 실적을 자랑한다. DCS 141 은 안정적이고, 효율적이며, 안전한 솔루션으로, 모든 클리닝 환경에서 우수한 성능을 보장합니다.