판매용 중고 DISCO DCS 141 #9377224

DISCO DCS 141은 다양한 반도체 생산 응용 분야에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 다양 한 "웨이퍼 '와" 마스크' 크기 와 여러 가지 스크러빙 '절차 에 사용 하도록 설계 되었다. DISCO DCS141에는 2 개의 스크러빙 헤드가 장착되어 있으며 에칭, 증착, 스트리핑, 이온 이식 등 다양한 프로세스 단계를 수행 할 수 있습니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 사용하면 기계가 상단 및 하단의 웨이퍼와 마스크를 동시에 스크러브 할 수 있습니다. 이 프로세스는 제어 가능한 접촉 압력 및 자동 주기 시간으로 수행됩니다. DCS 141 은 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 스크러빙 작업 전에 웨이퍼와 마스크를 청소하고 준비하는 온보드 프리 스크러빙 스테이션 (on-scrubbing station) 이 있습니다. 이렇게 하면 스크러빙 프로세스가 제대로 수행됩니다. DCS141은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러빙 외에도 프로세스 챔버, 일정 (fixture) 및 주변 영역을 정리할 수 있습니다. 또한 부품 내부 (insidor) 와 외부 (exterior) 를 청소하기 위해 비품과 기판에 깊숙이 침투 할 수 있습니다. 이 과정은 조정 가능한 주파수, 압력, 높은 플래시 온도로 수행됩니다. DISCO DCS 141 (DISCO DCS 141) 은 대용량 반도체 업계에서 사용하도록 설계되었으며, 일관된 품질로 대형 웨이퍼 및 마스크 배치를 처리 할 수 있습니다. 온도 모니터 (Temperature Monitor), 압력 센서 (Pressure Sensor) 및 비상 사태 시 기계를 종료하는 자동 정지 시스템 (Automatic Stop System) 과 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. DISCO DCS141 은 컴팩트하고 비용 효율적이며 다양한 프로세스를 수행하도록 구성할 수 있습니다. 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 작업에 이상적인 솔루션입니다.