판매용 중고 DISCO DCS 141 #9361774

DISCO DCS 141은 디지털 부품 생산에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 화학기술 (chemical· mechanical· 기계기술) 을 조합해 반도체 마스크 및 MEMS, LED 구조와 같은 다른 장치를 청소함으로써 작동한다. DISCO DCS141은 기판 표면에서 오염 물질을 제거하여 더 나은 전기 성능과 깨끗함을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 통합 로봇 암 (robotic arm) 및 기타 기계식 부품을 갖춘 완전 자동화 장비로, 민감한 기판을 효과적으로 청소할 수 있습니다. MOTORMASTER 장치는 DCS 141의 주요 메커니즘입니다. 그것 은 "와퍼 '를 가로지르는 이동 과 회전 을 포함 하여" 로봇' 암 과 "스크러버 '의 다른 성분 들 을 제어 하는 일 을 담당한다. 선형 동작은 고정밀 선형 모터에 의해 활성화되어 정확하고 정확한 스크러빙을 보장합니다. DCS141은 수동 또는 자동 두 가지 모드로 작동할 수 있습니다. 자동 모드에서 시스템은 동시/다중 웨이퍼 (wafer) 클리닝 프로세스를 위해 프로그래밍이 가능합니다. 이렇게 하면 처리 용도로 전송되는 웨이퍼 수에 관계없이 스크러빙 품질이 일관되게 유지됩니다. 스크러버에는 혁신적인 스크러빙 헤드가 있습니다. 머리는 수성 계면 활성제 (Aqueous surfactant) 청소 장치와 효율적인 청소 프로세스를 제공하기 위해 설계된 회전 브러시 머신 (Rotating brush machine) 을 갖추고 있습니다. [회전] 브러쉬 도구는 와퍼를 손상시키지 않고 입자 잔기를 제거하는 부드러운 기계적 스크러빙 동작을 제공합니다. 수성 계면 활성제 (Aqueous surfactant) 청소 자산은 민감한 반도체 기판에 안전하도록 설계된 특수 세제를 사용합니다. 또한 DISCO DCS 141 에는 스크러버 (scrubber) 의 수명을 늘리고 유지 보수가 용이한 필터링 모델도 포함되어 있습니다. 3 개의 층으로 구성된 후 - 거친, 중간, 미세는 웨이퍼를 손상시킬 수있는 입자, 먼지 및 기타 입자를 공중에서 제거하는 데 사용됩니다. 그 에 더하여, "슬러지 펌프 '를 장비 에 집어 넣어" 웨이퍼' 에서 파열 된 흙 이나 파편 을 없애 버린다. 전반적으로, DISCO DCS141은 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 깨끗함을 유지하면서 민감한 기판을 안정적으로 청소 할 수 있습니다. 로봇 암 (robotic arm), 프로그래밍 가능한 청소 공정 (programmable cleaning process), 청소 시스템 (cleaning systems) 과 같은 고급 기능은 최대 청결과 정밀도가 필요한 생산 프로세스에 적합합니다.