판매용 중고 DISCO DCS 141 #9361773

디스코 DCS 141 (DISCO DCS 141) 은 반도체 장치에 자동화된 고출력 클리닝 솔루션을 제공하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 청소하여 최적의 기능과 성능을 보장하도록 설계되었습니다. DISCO DCS141은 2 개의 스크러빙 가드 레일이있는 단일 스팬 스크러버입니다. 조정 가능한 가드 레일은 원형, 사각형, 팔각형 또는 양면 웨이퍼에 사용할 수 있습니다. 그들은 청소 과정을 통해 웨이퍼/마스크를 안내하여 정확하고 스크러빙을 보장합니다. DCS 141 은 다양한 wafer 및 mask 크기를 수용할 수 있도록 특정 설정에 맞게 프로그래밍될 수 있습니다. DCS141은 강력한 클리닝 솔루션 인 Infinichem을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 스크러빙합니다. 이 올인원 클리닝 솔루션은 청소뿐만 아니라 웨이퍼/마스크 표면을 소독하고 윤활합니다. SCS 141은 최적의 청소를 위해 청소 용액의 농도를 정확하게 제어합니다. 처리를 용이하게하기 위해 DISCO DCS 141에는 2 개의 독립적 인 챔버가 포함됩니다. 하나는 젖은 청소 공정에, 다른 하나는 건조에 사용됩니다. 습식 청소 과정 중, "인피니헴 '의 방울 은 효율성 을 희생 하지 않고 최대 의 청소 범위 를 달성 하도록" 프로그램' 이 지시 하는 두 개 의 머리 에서 방출 된다. 듀얼 레벨 닫힌 루프 스크러빙 디자인은 일관되고 반복 가능한 청소 결과를 제공합니다. 건조 챔버 (drying chamber) 는 뜨거운 공기 스피너를 사용하여 잔류 청소제를 제거하고 웨이퍼 또는 마스크를 녹이지 않습니다. DISCO DCS141에는 여러 가지 기능이 있어 사용자 편리하고 효율적입니다. 12 인치 터치 스크린을 통해 변경 사항, 수동 모드 작동, 오류 문제 해결, 종합적인 청소 데이터 수집 등을 설정할 수 있습니다. 또한, 스크러버 클리닝 작업 중에 호스가 얽히지 않도록 하는 자동 호스 관리 시스템 (automatic hose management system) 이 있습니다. 전반적으로 DCS 141은 업계 최고의 성능으로 뛰어난 클리닝 결과를 제공합니다. 안정적이고 사용하기 쉬운 시스템으로서, 일관성 있고 반복 가능한 결과와 함께 고출력 (high-throughput) 클리닝 솔루션을 찾는 반도체 제조업체에 적합합니다.