판매용 중고 DISCO DCS 141 #9312489

DISCO DCS 141은 반도체 생산을 위해 매우 효율적이고 비용 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 혁신적인 기술이 적용된 벨트 타입 (Belt-Type) 툴로, 웨이퍼, 기판, 창 마스크를 자동으로 정확하게 청소할 수 있도록 설계되었습니다. DISCO DCS141에는 대기 오존 (Ozone) 확산을 위해 미세 패턴 된 컨베이어 벨트가 장착되어 일관되고 안정적인 청소 성능을 제공합니다. 정확하고 정확한 처리를 위해 DC 서보 모터 및 벨트 드라이브 시스템에 의해 구동됩니다. 또한, 수력 동적으로 Ozone을 흘러 최적의 청소력 및 제거 속도를 제공합니다. DCS 141은 시간당 최대 1,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있기 때문에 대규모 생산에 이상적입니다. 최적의 청소를 달성하기 위해 습하고 드라이 스크러빙 (dry scrubbing) 프로세스에 사용됩니다. 습식 스크러빙 프로세스는 기술적으로 발전된 고효율 플러싱 메커니즘을 기반으로합니다. 여기에는 샤워 장치 (shower unit) 가 포함됩니다. 샤워 장치는 웨이퍼를 가로 질러 균일하고 일정한 물 흐름을 생성하도록 구성된 노즐을 포함합니다. 드라이 스크러빙 공정은 대기 기반 오존 (Ozone) 공정을 사용하는데, 이는 매우 민감한 공정 또는 주기 시간이 짧은 공정에 적합합니다. DCS141은 습식 및 드라이 스크러빙 외에도 에칭 및 진동 청소 기능을 제공합니다. 고성능 공압 액추에이터 (Actuator) 를 장착하여 최대 55 Hz의 진동 주파수에 도달하고 표면 유형에 관계없이 강력한 공격성을 제공 할 수 있습니다. 또한, 서로 다른 응용을위한 2 개의 개별 에칭 챔버와 2 개의 에칭 솔루션이 있습니다. 이를 통해 두 가지 유형의 에칭 기술을 동시에 사용할 수 있으며, 이는 뛰어난 클리닝 성능을 제공합니다. 또한 DISCO DCS 141 에는 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 및 워크플로우 관리 시스템을 제공하는 고급 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 중요한 프로세스 매개 변수로 오류를 검색, 모니터링, 보고할 수 있습니다. 또한 매개변수 설정 메뉴, 내장 진단 프로그램, 온라인 지원 시스템 (Online Support System) 도 갖추고 있습니다. DISCO DCS141 은 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 하이엔드 성능을 제공합니다. 시간당 최대 1,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 클리닝 (automated cleaning) 기능을 통해 대규모 생산에 적합합니다. 혁신적인 기술, 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스, 고급 소프트웨어 패키지 (Advanced Software Package) 덕분에 최소한의 노력으로 탁월한 클리닝 성능을 제공할 수 있습니다.