판매용 중고 DISCO DCS 141 #9232877

DISCO DCS 141은 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 처리를 위해 설계된 다목적 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것의 주요 목적은 두 제품의 표면에서 미립자를 제거하는 것으로, 최적의 성능을 보장하는 것입니다. 이 장비는 첨단 클리닝 (cleaning) 기술의 조합을 활용하여 광범위한 자재 (material) 와 응용프로그램 (application) 에 걸쳐 높은 수준의 깨끗함을 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 스크러버 (wafer scrubber) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 로 구성되며, 각 스크러버는 특정 재료 유형과 최종 용도에 맞게 최적화됩니다. 웨이퍼 스크러버 (wafer scrubber) 는 로봇 팔에 의해 작동하는 규암 브러시 유닛 (quartzite brush unit) 을 사용하여 플라스틱 탱크의 웨이퍼에서 표면 입자를 긁습니다. 스크럽 (scrubbe) 은 초음파 청소를 사용하는데, 여기서 초음파 파는 중단 된 입자를 진동시켜 웨이퍼 표면에서 제거 할 수 있습니다. 입자는 플라스틱 탱크에서 수집 된 후 배수 및 수집된다. "마스크 스크러버 '는 초음파" 노즐' 을 사용 하여 청소 용매 를 "마스크 '표면 에 뿌린다. 그것 은 "마스크 '위 에 있는 입자 를 가장 효과적 인 방법 으로 제거 하는 재료 나" 프로그램' 에 따라 다양 한 "스프레이 '와 진공" 설정' 을 가지고 있다. 청소 액체 는 "컨테이너 '에 수집 되어 안전 하고 친환경적 인 방법 으로 처리 된다. 두 스크러버 부품은 입자 제거 효능을 보장하기 위해 DI 물을 청소 액체로 사용합니다. 이 기계는 DI 물, 아세톤 및 이소 프로필 알코올을 포함한 다양한 청소 용매와 호환됩니다. 또한 고급 설계 (Advanced design) 를 통해 온도, 압력 등 다양한 프로세스 조건을 통해 최적의 청소 결과를 확인할 수 있습니다. 이 도구에는 장애 감지 기능도 내장되어 있습니다. 이 과정에서 발견된 문제가 발생할 경우, 경보를 보내 이를 보고하고, 기술자에게 이를 알릴 수 있습니다 (영문). 이렇게 하면, 청소 과정 이 순조 롭게 진행 되며, 결과 에 대한 영구적 인 기록 이 있게 됩니다. 또한 DISCO DCS141 에는 직관적인 사용자 인터페이스가 있어 작업을 간단하고 쉽게 관리할 수 있습니다. 전체적으로이 자산은 반도체 제품과 포토 마스크 (photomask) 모두에 대해 오래 지속되고 효율적인 청소 성능을 제공하도록 설계되었습니다.