판매용 중고 DISCO DCS 141 #9119563

DISCO DCS 141 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 섬세한 웨이퍼 및 마스크 표면을 청소하는 안전하고 안정적인 방법을 제공합니다. 이 기계는 일관성 있고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스로 민감한 서피스의 양면을 자동으로 청소할 수 있습니다. 여기에는 3 개의 개별 스크러버 유닛 (각각 개별 스크러버 헤드) 이 있으며, 최적의 결과에 필요한 정확한 클리닝 매개변수를 유지하는 데 도움이됩니다. 스크러빙 과정은 3 개의 독립적 인 스크러버 헤드 중 첫 번째를 통해 웨이퍼를 공급함으로써 시작됩니다. 이 부분은 세제 액체 (detergent liquid) 와 화장품 브러시 (cosmetic brush) 로 미리 청소되어 표면에 존재할 수있는 더 큰 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 그런 다음 "웨이퍼 '를 두 번째" 스크러버' 머리 로 옮겨 청소 실 로 들어가기 전 에 더 강한 "세제 '를" 웨이퍼' 에 적용 시킨다. 여기서 웨이퍼는 청소 용액 안개로 접촉하고 3 차원 스크럽 패드로 긁습니다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 에 남아 있는 부착 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 이 장치 의 세 번째 "스크러버 '는" 세제' 액체 와 "브러쉬 '스크러빙 액션' 을 사용 하여" 웨이퍼 '와 "마스크' 표면 에 남아 있는 잔류 물 을 녹이는 데 도움 이 된다. 클리닝 주기는 터치 패널 컨트롤러 (touch panel controller) 를 통해 제어되며, 스크러빙 매개변수에 대한 전체 액세스를 허용하며, 정밀 작동 및 최적화를 제공합니다. 또한 DISCO DCS141 (DISCO DCS141) 에는 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 프로세스 중 잠재적 인 흉터 또는 표면 손상이 발생하지 않도록 하는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 과정에서 적용되는 과도한 힘으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 안전 정류장이 포함됩니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 임의의 지점에서 웨이퍼 (wafer) 가 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 에서 벗어나 그에 따라 종료되면 감지하여 안전한 작동을 보장합니다. DCS 141은 업계 최고의 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러버 중 하나이며 안전, 정확성 및 반복 가능성을 완벽하게 혼합합니다. 효율적이고 신뢰할 수 있는 클리닝 프로세스를 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다 (영문). 종합적인 안전 (safety) 기능은 우수한 결과를 제공하면서 웨이퍼와 마스크의 표면을 보호하는 데 도움이되며, DCS141은 모든 FAB (Fab) 또는 Process Line 중 중요한 부분입니다.