판매용 중고 DISCO DCS 141 #9108948

DISCO DCS 141은 다양한 기판을 정확하고 효율적으로 청소하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 제조 공정에 사용되는 다양한 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 및 기타 부품을 스크러빙하고 연마 할 수 있습니다. 스크러버 머신 (scrubber machine) 은 고효율의 고속 스크러빙 헤드 디자인으로 균일 한 청소 과정을 보장합니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼와 최대 0.3mm 두께를 수용 할 수 있습니다. 원심력 발전기는 깊은 스크러빙 및 연마에 충분한 압력과 속도를 생성 할 수 있습니다. 스크러버는 pH 범위가 7.1 ~ 8.5 인 DI 물로 청소액으로 사용합니다. 클리닝 프로세스는 통합 컨트롤러로 완전히 자동화되어 제품 매개변수 (parameter) 와 기판 사양에 따라 스크러빙 압력 (scrubbing pressure) 과 회전 속도 (rotation speed) 를 자동으로 조정합니다. 안전의 경우, 전원 또는 물 문제가 발생할 경우 장비도 자동으로 종료됩니다. 또한 DI 수계 (DI water system) 는 스크러빙 과정에서 공기 거품 또는 입구 입자를 감지하여 웨이퍼로의 이동을 방지하도록 설계되었습니다. 그 결과, 청소 과정 은 매우 효과적 이며, 더 높은 수율 을 산출 한다. DISCO DCS141 (DISCO DCS141) 은 또한 통합 폐기물 관리 장치를 갖추고 있으며, 스크러빙 과정에서 발생하는 잔해를 쉽게 수집 및 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 규정 준수를 보장하고 여러 기판 간의 교차 오염을 방지할 수 있습니다. 또한 석유 재활용 장치 (Oil Recycling Unit) 가 포함되어 있으며, 이를 통해 장기간 DI 물을 재사용할 수 있습니다. 폐기물 관리 기계 (Waste Management Machine) 는 스크러빙 및 연마에 사용되는 유해 또는 소모품의 소비를 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 이 기계에는 사용자 친화적 인 작동 패널이 있어 다양한 제조 응용 프로그램 (manufacturing application) 에서 간단하고 직관적으로 설치할 수 있습니다. 조정 가능한 동작 도구 (motion tool) 와 디플렉션 감지 기술 (deflection sensing technology) 을 사용하면 최소한의 변형으로 여러 유형의 기판을 효율적으로 청소할 수 있습니다. 또한 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 정확한 구성을 위해 설계되었으며 요구 사항에 따라 쉽게 변경하거나 교체할 수 있습니다. 전반적으로, DCS 141은 반도체 산업의 다양한 종류의 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 클리닝 어플리케이션을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 스크러버 머신입니다. 사용자 친화적인 운영, 자동화된 자산, 통합 폐기물 관리 (Integrated Waste Management) 모델을 통해 모든 정밀 웨이퍼 및 마스크 청소 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.